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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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11. Anhang<br />

S<strong>im</strong>ulation der magnetischen Feldstärke des Aktormagneten<br />

Abbildung 11-6: magn. Feldstärke H und Verlauf der Feldlinien des Aktormagneten<br />

Abbildung 11-7: Verlauf der normal zu den Polflächen gerichten Komponente der magnetischen Feldstärke H<br />

in radialer Richtung an den beiden Polen<br />

Abbildung 11-8: Verlauf der parallel zur Längsachse gerichtete Komponente der Feldstärke entlang der<br />

Längsachse<br />

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