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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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C

C Magnetfeldsimulation 11. Anhang Die im Rahmen der Verifikation von Aktorik und Sensorik in Kap. 6.2.2 und 6.2.3 beschriebenen Testergebnisse werden mittels der Finite Elemente Software femm überprüft. Hierzu wird eine magnetostatische Analyse der des Sensormagneten, Aktormagneten sowie der Maxwellspule durchgeführt. Dabei werden für den Aktor die folgenden Daten verwendet und Simulationsergebnisse erzielt: Aktormagnet Typ NdFeB Vacodym HR HcB 1076kA/m 1mm µr 1.050 rzapfen 0.5mm Lzapfe n r 1.5mm L 3mm Maxwellspule N 225 I 1A rinnen 1.15mm raussen 2.9mm LCoilA,B 3.6mm d 1.3mm ddraht 0.15mm Tabelle 11-14: Einstellung der Parameter für die Magnetfeldsimulation 120

11. Anhang Simulation der magnetischen Feldstärke des Aktormagneten Abbildung 11-6: magn. Feldstärke H und Verlauf der Feldlinien des Aktormagneten Abbildung 11-7: Verlauf der normal zu den Polflächen gerichten Komponente der magnetischen Feldstärke H in radialer Richtung an den beiden Polen Abbildung 11-8: Verlauf der parallel zur Längsachse gerichtete Komponente der Feldstärke entlang der Längsachse 121

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