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Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

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3. Grundlagen des <strong>mikromechanischen</strong> <strong>Shutter</strong>s und dessen Verifikationsprozess<br />

von Material- und Fertigungsmängeln ist. Voraussetzung <strong>für</strong> die Abnahmeverifikation ist die<br />

vorausgehende Qualifizierungsverifikation eines baugleichen Modells.<br />

Einige hier angewandte grundlegende Methoden, die <strong>im</strong> <strong>Rahmen</strong> der<br />

Qualifizierungsverifikation angewendet und empfohlen werden, sind:<br />

Verifikation durch theoretische oder empirische Analyse (Verification by Analysis)<br />

Verifikation durch Tests (Verification by Test)<br />

Verifikation durch Inspektion<br />

Grundlegende Methoden, die <strong>im</strong> <strong>Rahmen</strong> der Abnahmeverifikation angewendet und<br />

empfohlen werden, sind:<br />

Verifikation durch Tests (Verification by Test)<br />

Verifikation durch Inspektion<br />

Aufgrund möglicher Überschneidungen bzw. Übereinst<strong>im</strong>mungen bei<br />

Qualifizierungsverifikation und Abnahmeverifikation wird <strong>im</strong> Folgenden allgemein von<br />

Verifikation gesprochen.<br />

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