Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...
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6. Verifikation des Regelungssystems<br />
Für die weiteren Untersuchungen wird der Anstieg deshalb vernachlässigt und die<br />
Proportionalitätskonstante mit<br />
1<br />
<br />
1<br />
36 linearisiert, wodurch die Gültigkeit des analytisch beschriebenen Übertragungsverhaltens<br />
gewahrt wird.<br />
Federkonstnte c[N/m]<br />
39<br />
37<br />
35<br />
33<br />
31<br />
29<br />
Federkonstante<br />
0 0,5 1<br />
Auslenkung [mm]<br />
1,5 2<br />
Abbildung 6-4: Kraft-Weg Kennlinie (Pr<strong>im</strong>ärachsen) der Federn von SR3(blau) und SR#4(rot) sowie deren<br />
Federkonstanten c=dF/dx von SR3( blau) und SR4 (rot)<br />
Masse:<br />
Zur Ermittlung der dynamischen Masse m wird der <strong>Shutter</strong> in den zuvor erwähnten Aufbau<br />
installiert und dieser samt Triangulationssensor über <strong>einen</strong> rechten Winkel verkippt, sodass<br />
die Erdbeschleunigung die <strong>Shutter</strong>wippe axial zur zuvor ermittelten Rückstellkraft der Feder<br />
zieht. Die sich somit ergebende Auslenkung der <strong>Shutter</strong>wippe stellt sich ausschließlich<br />
aufgrund der auf die bewegliche Masse wirkenden Erdbeschleunigung ein. Man erhält den<br />
Zusammenhang ∙<br />
mit g=9,81 [m/s2 ]. Hieraus ergibt sich als Mittelwert <strong>für</strong> beide<br />
<strong>Shutter</strong> m=0,000245kg.<br />
41<br />
Federkonstante<br />
SR1<br />
Federkonstante<br />
SR3<br />
Federkonstante<br />
SR4
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