Verifikationstest für einen mikromechanischen Shutter im Rahmen ...

4.4. Auswertung
4. Verifikation der mechanischen Belastbarkeit
Um mögliche Degradationen der Shutterstruktur feststellen zu können, werden die für die
Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften des Festkörperfederelements relevanten
statischen Kennlinien aufgezeichnet sowie eine Sichtprüfung der Titanstruktur mit
Lichtmikroskop durchgeführt. Abbildung 4-4 zeigt die Federkonstante über der Auslenkung.
Federkonstante c[N/m]
37
36,5
36
35,5
35
34,5
34
Federkonstante SR4
0 0,5 1 1,5
Auslenkung s[mm]
Abbildung 4-4: Vergleich der Federkonstanten vor (blau) und nach (rot) dem Vibrationstest
Hier lassen sich keine außergewöhnlichen Änderungen feststellen: Die Veränderung der
Federkonstante liegt in einem Bereich von 0.25N/m bis 0.5N/m und damit innerhalb der
Messgenauigkeit des Versuchsaufbaus. Auch bei der mikroskopischen Inspektion lassen sich
keinerlei Risse oder plastische Verformungen feststellen.
Zur Überprüfung der Aktoreigenschaften wird die Auslenkung über dem Spulenstrom
ermittelt. Dabei kann darauf geschlossen werden, dass keine Änderung der geometrischen
Positionen der Aktorbauteile durch die Erschütterungen stattgefunden hat. Eine Verschiebung
der Magnetposition hätte z.B. eine Änderung der Luftspaltabmessungen zur Folge. Die
dadurch veränderten Feldverteilungen würden sich auf den Wirkungsgrad des Aktors
auswirken. Dies konnte jedoch, wie aus Abbildung 4-5 zu entnehmen ist, nicht festgestellt
werden.
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SR#4 Pretest
SR#4 Posttest