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Facoltà di Ingegneria - Udu Lecce

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Modalità d'esame<br />

Prova orale su un argomento del corso approfon<strong>di</strong>to dallo studente e concordato con il<br />

docente<br />

Sito Internet <strong>di</strong> riferimento<br />

-<br />

PROGRAMMA<br />

Teoria<br />

• Introduzione alle nanotecnologie ore: 2<br />

• Tecniche <strong>di</strong> nanofabbricazione ore: 16<br />

- Tecniche <strong>di</strong> deposizione (evaporazione, sputtering, epitassia)<br />

- Tecniche <strong>di</strong> litografia nanometrica<br />

- Tecniche <strong>di</strong> attacco chimico su scala nanometrica<br />

• Tecniche <strong>di</strong> microscopia ore: 6<br />

- Il microscopio ottico: funzionamento e limiti<br />

- Il microscopio a scansione elettronica.<br />

- Microscopia a scansione <strong>di</strong> sonda: microscopia a forza atomica, in campo vicino e a<br />

scansione tunnel<br />

Laboratorio<br />

• Tecnologie <strong>di</strong> nanofabbricazione ore: 6<br />

Litografia da fascio elettronico e attacco chimico<br />

• Microscopia nanometrica ore: 4<br />

SEM, AFM e STM<br />

• Appunti del corso<br />

TESTI CONSIGLIATI<br />

590

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