Fakultät für Physik und Astronomie Ruprecht-Karls-Universität ...
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40 KAPITEL 3. PROBENAUFBEREITUNG FÜR EIS<br />
Sorptionsgeschwindigkeit<br />
Der typische Verlauf des Drucks während des Getterprozesses wird in Abbildung 3.5 gezeigt. Man<br />
sieht anfangs eine sehr schnelle Abnahme, anschließend einen annähernd linearen Verlauf. Bei<br />
niedrigen Drücken verlangsamt sich der Druckabfall <strong>und</strong> nähert sich exponentiell einem Grenzwert<br />
an. Die schnelle anfängliche Abnahme ist darauf zurückzuführen, dass Sauerstoff schneller<br />
gegettert wird als Stickstoff, sodass zuerst eine schnelle Absorption von Sauerstoff erfolgt, bevor<br />
anschließend nur noch Stickstoff gegettert wird (die Oberfläche von Titan nimmt O2 ca. 5 mal<br />
besser auf als N2, vgl. Tabelle 2.4). Der langsamere exponentielle Abfall bei niedrigen Drücken<br />
kann sich darauf zurückführen lassen, dass bei niedrigen Drücken ein anderer Prozess geschwindigkeitsbestimmend<br />
ist als bei höheren. Bestimmend <strong>für</strong> die Geschwindigkeit der Getterung<br />
können nämlich mehrere Faktoren sein: Einmal die Verfügbarkeit von freien Oberflächenplätzen<br />
des Titans, an die sich Gasmoleküle binden können, zum anderen die Geschwindigkeit, mit<br />
der das Gas in das Gettermaterial eindiff<strong>und</strong>iert. Der dritte Faktor, der die Geschwindigkeit<br />
bestimmen kann, ist die Diffusionsgeschwindigkeit, mit der das Gas zum Getter diff<strong>und</strong>iert.<br />
Bei höheren Drücken scheinen die freien Plätze an der Oberfläche nahezu instantan mit Adsorbatteilchen<br />
besetzt zu werden, sodass der bestimmende Faktor die Diffusion ins Innere ist.<br />
Dies erklärt den annähernd linearen Verlauf: Von der Oberfläche diff<strong>und</strong>iert eine konstante Rate<br />
von adsorbierten Atomen ins Innere, wobei sich der Gradient der Konzentration an Fremdatomen<br />
im Titan nach einer gewissen Einklingzeit nicht mehr signifikant ändert, da annähernd ebensoviele<br />
Atome pro Flächeneinheit nach innen diff<strong>und</strong>ieren wie außen ankommen. Somit nimmt die<br />
Teilchenzahl annähernd linear mit der Zeit ab (nach Gl. 2.47). Da nach dem idealen Gasgesetz<br />
der Druck proportional zur Teilchenzahl ist, gilt also auch, dass<br />
dp<br />
dt<br />
= const. (3.6)<br />
Der lineare Abfall war bei niedrigen Temperaturen besonders deutlich (Abb. 3.6). Für extrem<br />
große Gasmengen bzw. extrem schnelle Adsorptionsgeschwindigkeiten gilt dieser lineare Abfall<br />
nicht mehr exakt, da dann die Annahme eines konstanten Konzentrationsgradienten nicht mehr<br />
erfüllt ist. Bei der Sauerstoffgetterung (Bereich I in Abb. 3.5) verläuft der Getterprozess dagegen<br />
wohl bei hohen Temperaturen so schnell, dass sich kein konstanter Konzentrationsgradient mehr<br />
einstellen kann (s. u.). Bei niedrigeren Drücken (Bereich III in Abb. 3.5) bestimmt schließlich<br />
nicht mehr die Diffusion ins Innere des Titans die Geschwindigkeit des Druckabfalls, sondern die<br />
Rate, mit der de Gasatome an die Oberfläche ankommen. Da diese wiederum selbst vom Druck<br />
abhängt, fällt der Druck in diesem Bereich exponentiell ab.<br />
Insgesamt setzt der Getterprozess ab ca. 400 ◦ C ein. Die einzelnen Gase beginnen jeweils<br />
bei unterschiedlichen Minimaltemperaturen mit dem Titan zu reagieren. Bei einer reinen Stickstoffprobe<br />
beginnt die Absorption erst bei 650 ◦ C (vgl. Abb. 3.7), sodass der Druckabfall bei<br />
niedrigeren Temperaturen (400-650 ◦ C) auf reine Sauerstoffabsorption zurückzuführen ist. Zur<br />
praktischen Anwendung sind in jedem Fall höhere Temperaturen (mindestens 800 ◦ C) besser geeignet.<br />
Einmal ist die Geschwindigkeit der Absorption bei diesen Temperaturen erheblich höher,<br />
was auf eine erhöhte Diffusionsgeschwindigkeit der gegetterten Fremdatome zurückzuführen ist.<br />
Aus demselben Gr<strong>und</strong> ist nach einer Separation bei niedrigen Temperaturen auch eine relativ<br />
große Verunreinigung an der Getteroberfläche vorhanden, sodass längere Zeit ausgeheizt werden<br />
muss, um die Getteroberfläche wieder zu regenerieren.