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Fakultät für Physik und Astronomie Ruprecht-Karls-Universität ...

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4.2. ANSCHLUSS UND TEST EINES QUADRUPOL-MASSENSPEKTROMETERS 73<br />

<strong>und</strong><br />

Clam = π r<br />

8<br />

4<br />

ηl<br />

ph − pl<br />

. (4.8)<br />

2<br />

Bei den gegebenen Parametern der Quarzglaskapillare von rinnen = 20 µm, l = 4 m sowie<br />

<strong>und</strong> T=293,15 K beträgt die theoretische Leitfähigkeit damit<br />

J<br />

g<br />

R = 8,31 molK , Mhelium=4<br />

mol<br />

Experimentelle Überprüfung<br />

C = (5,21 · 10 −12 + ph · 4,22 · 10 −14 ) m3<br />

. (4.9)<br />

s<br />

Der Leitwert hätte nach den theoretischen Überlegungen des vorherigen Abschnitts einen kleinen,<br />

durch den diffusiven Anteil bestimmten Offset <strong>und</strong> würde nur langsam bei höheren Drücken<br />

ansteigen (Gleichung 4.9). Die Messung der realen Drücke vor <strong>und</strong> hinter der Kapillare ergab<br />

jedoch einen erheblich höheren Leitwert als theoretisch erwartet. Der Druck hinter der Kapillare<br />

bei unterschiedlich großen Heliumdrücken vor der Kapillare ist in Abb. 4.7 abgebildet. Der<br />

Anstieg des Druckes hinter der Kapillare sollte bei sehr hohen Außendrücken linear verlaufen, bei<br />

niedrigen gemäß einem Polynom 2. Ordnung. Dies lässt sich durch Kombination der Gleichungen<br />

4.1 sowie 4.7 <strong>und</strong> 4.8 zeigen. Umstellen der Gleichungen nach pl ergibt (mit der Konstanten k,<br />

welche die konstanten Vorfaktoren von Gl. 4.8 zusammenfasst):<br />

pl = p2 h + Cdiff ph<br />

2kph + Cdiff + S<br />

(4.10)<br />

Hierbei wurde der quadratische Term mit p2 l bei der Rechnung vernachlässigt. Das ist berechtigt,<br />

weil pl um ca. 10 Größenordnungen kleiner ist als ph. Da S >> kph bzw. Cdiff , sollte der Druck<br />

im hier relevanten Druckbereich rein parabelförmig verlaufen. Der theoretische Druckverlauf bei<br />

dem durch Gleichung 4.9 gegebenen Leitwert der Kapillare ist in Abb. 4.7 durch die rote Linie<br />

gekennzeichnet. Der gemessene reale Druck liegt deutlich darüber. Bei niedrigen Außendrücken<br />

zeigt sich zudem, dass der Druck hinter der Quarzglaskapillare überhaupt nicht mehr vom angelegten<br />

äußeren Druck abhängt, sondern auf einem mehr oder weniger konstanten Wert bleibt.<br />

Dieses Verhalten lässt auf einen Untergr<strong>und</strong> in der Messkammer schließen, der bei niedrigeren<br />

vor der Kapillare angelegten Drücken überwiegt <strong>und</strong> die durch die Kapillare einströmenden Gase<br />

komplett überdeckt. Dieser Untergr<strong>und</strong> wird im nächsten Abschnitt genauer betrachtet werden.<br />

Errechnet man mit Gleichung 4.1 den Leitwert anhand der gemessenen Drücke (das Saugvermögen<br />

S der Turbopumpe <strong>für</strong> Helium beträgt 50 l<br />

s ), so ergibt sich im annähernd linearen<br />

Bereich bei höheren Drücken ein experimentell gef<strong>und</strong>ener Leitwert von<br />

C = [ (1,7 ± 0,1) · 10 −10 + ph · (7,1 ± 0,2) · 10 −14 ] m3<br />

. (4.11)<br />

s<br />

Beim Vergleich mit Gleichung 4.9 sieht man, dass der experimentelle Leitwert erheblich größer ist<br />

als der theoretisch erwartete (Abbildung 4.8). Der lineare Anteil ist ca. 70% größer als theoretisch<br />

erwartet. Der konstante Teil, der theoretisch nur aus dem relativ geringen Wert des diffusiven<br />

Leitwertes bestehen sollte, ist sogar um einige Größenordnungen zu groß. Nach dem Ausheizen

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