PCT/2002/1 : PCT Gazette, Weekly Issue No. 1, 2002 - WIPO

01/2002
3 Jan/jan 2002 PCT Gazette - Section I - Gazette du PCT 195
(84) EP (AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR
IE IT LU MC NL PT SE TR).
(51) 7 C23C 14/06, 28/02
(11) WO 02/00958 (13) A1
(21) PCT/JP01/05130
(22) 15 Jun/juin 2001 (15.06.2001)
(25) ja (26) ja
(30) 2000-192077 27 Jun/juin 2000 JP
(27.06.2000)
(43) 3 Jan/jan 2002 (03.01.2002)
(54) DECORATIVE ARTICLE HAVING
WHITE FILM AND PRODUCTION
METHOD THEREFOR
ARTICLE DECORATIF COMPORTANT
UNE PELLICULE BLANCHE ET PRO-
CEDE DE PRODUCTION ASSOCIE
(71) CITIZEN WATCH CO., LTD. [JP/JP];
1-12, Tanashicho 6-chome, Nishitokyo-shi,
Tokyo 188-8511 (JP).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) NAOI, Koichi [JP/JP]; c/o CITIZEN
WATCH CO., LTD., 1-12, Tanashicho
6-chome, Nishitokyo-shi, Tokyo 188-8511
(JP). TAKAGI, Akiyoshi [JP/JP]; c/o CITI-
ZEN WATCH CO., LTD., 1-12, Tanashicho
6-chome, Nishitokyo-shi, Tokyo 188-8511
(JP). MIYA, Yukio [JP/JP]; c/o CITIZEN
WATCH CO., LTD., 1-12, Tanashicho
6-chome, Nishitokyo-shi, Tokyo 188-8511
(JP). TASE, Fumio [JP/JP]; c/o CITIZEN
WATCH CO., LTD., 1-12, Tanashicho
6-chome, Nishitokyo-shi, Tokyo 188-8511
(JP). HAMANO, Kazumi [JP/JP]; c/o CIT-
IZEN WATCH CO., LTD., 1-12, Tanashicho
6-chome, Nishitokyo-shi, Tokyo 188-8511
(JP).
(74) SUZUKI, Shunichiro; SUZUKI & ASSO-
CIATES, Gotanda Yamazaki Building 6F,
13-6, Nishigotanda 7-chome, Shinagawa-ku,
Tokyo 141-0031 (JP).
(81) CN JP KR MX US.
(84) EP (CH DE FR GB IT NL).
(51) 7 C23C 14/34, C22C 1/04, H01J 7/18
(11) WO 02/00959
(21) PCT/IT01/00332
(13) A1
(22) 26 Jun/juin 2001 (26.06.2001)
(25) en (26) en
(30) MI2000A001453 28 Jun/juin 2000
(28.06.2000)
IT
(43) 3 Jan/jan 2002 (03.01.2002)
(54) CATHODES FOR CATHODIC DEPO-
SITION OF GETTER ALLOYS AND A
PROCESS FOR THE MANUFACTURE
THEREOF
CATHODES DESTINEES AU DEPOT
CATHODIQUE D’ALLIAGES DE GET-
TER ET PROCEDE DE FABRICATION
DE CES CATHODES
(71) SAES GETTERS S.P.A. [IT/IT]; Viale
Italia, 77, I-20020 Lainate (IT).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) BOFFITO, Claudio [IT/IT]; Via Papa
Giovanni XXIII, 2, I-20017 Rho (IT).
TOIA, Luca [IT/IT]; Via della Fontana,
14/A, I-21040 Carnago (IT). GALLITOG-
NOTTA, Alessandro [IT/IT]; Via Marconi,
52, I-21040 Origgio (IT).
(74) PIZZOLI, Antonio; Società Italiana
Brevetti S.p.A., Via Carducci, 8, I-20123
Milano (IT) et al. / etc.
(81) AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR
BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK
DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM
HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ
LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK
MN MW MX MZ NO NZ PL PT RO RU SD
SE SG SI SK SL TJ TM TR TT TZ UA UG
US UZ VN YU ZA ZW.
(84) AP (GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ
UG ZW); EA (AM AZ BY KG KZ MD RU
TJ TM); EP (AT BE CH CY DE DK ES FI
FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR); OA
(BF BJ CF CG CI CM GA GN GW ML MR
NE SN TD TG).
Published / Publiée :(c)
(51) 7 C23C 14/35
(11) WO 02/00960 (13) A1
(21) PCT/JP00/06489
(22) 21 Sep/sep 2000 (21.09.2000)
(25) ja (26) ja
(30) 2000/237712 29 Jun/juin 2000 JP
(29.06.2000)
(43) 3 Jan/jan 2002 (03.01.2002)
(54) MAGNETRON SPUTTERING DEVICE
DISPOSITIF DE PULVERISATION MA-
GNETRON
(71) SANYO SINKUU KOUGYOU CO., LTD
[JP/JP]; 8-27, Kusune 1-chome, Higashiosaka-shi,
Osaka 577-0006 (JP).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) KITABATAKE, Akihiro [JP/JP]; Sanyo
Sinkuu Kougyou Co., Ltd., 8-27, Kusune
1-chome, Higashiosaka-shi, Osaka 577-0006
(JP). KAWABATA, Keishi [JP/JP]; 2-9,
Kunami 4-chome, Ootake-shi, Hiroshima
736-0651 (JP). TANAKA, Takeshi [JP/JP];
Mezon Morikawa, 7-302, Minamisaiwai
machi 5-chome, Kaitacho, Aki-gun, Hiroshima
736-0032 (JP). KAJIOKA, Syu
[JP/JP]; Hiroshima Seibu Kougyo Gijyutu
Center, 10-1, Agaminami 2-chome, Kure-shi,
Hiroshima 737-0004 (JP). YAMADA, Keiji
[JP/JP]; Sanyo Sinkuu Kougyou Co., Ltd.,
8-27, Kusune 1-chome, Higashiosaka-shi,
Osaka 577-0006 (JP). MIKAMI, Yasuo
[JP/JP]; Sanyo Sinkuu Kougyou Co., Ltd.,
8-27, Kusune 1-chome, Higashiosaka-shi,
Osaka 577-0006 (JP).
(81) JP US.
(84) EP (AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR
IE IT LU MC NL PT SE).
(51) 7 C23C 16/32, 16/40, 14/08, 16/511
(11) WO 02/00961 (13) A1
(21) PCT/DE01/02380
(22) 26 Jun/juin 2001 (26.06.2001)
(25) de (26) de
(30) 100 31 280.2 27 Jun/juin 2000
(27.06.2000)
DE
(43) 3 Jan/jan 2002 (03.01.2002)
(54) METHOD FOR PRODUCING A
MULTI-FUNCTIONAL, MULTI-PLY
LAYER ON A TRANSPARENT
PLASTIC SUBSTRATE AND A
MULTI-FUNCTIONAL MULTI-PLY
LAYER PRODUCED ACCORDING TO
SAID METHOD
PROCEDE POUR PRODUIRE UN EN-
SEMBLE MULTICOUCHE MULTI-
FONCTIONNEL SUR UN SUBSTRAT
EN MATIERE PLASTIQUE TRANSPA-
RENT, ET ENSEMBLE MULTICOUCHE
MULTIFONCTIONNEL PRODUIT SE-
LON CE PROCEDE
(71) ROTH & RAU OBERFLÄCHENTECH-
NIK GMBH [DE/DE]; Gewerbering 10,
09358 Wüstenbrand (DE).
(for all designated States except / pour tous
les États désignés sauf US)
(72, 75) DITTRICH, Karl-Heinz [DE/DE]; Reichenhainer
Mühlberg 70, 09125 Chemnitz
(DE). ROTH, Dietmar [DE/DE]; Stollberger
Strasse 5, 09353 Oberlungwitz (DE).
(74) PÄTZELT, Peter; Pätzelt - Seltmann - Hofmann,
Ammonstrasse 72, 01067 Dresden
(DE).
(81) JP US.
(84) EP (AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR
IE IT LU MC NL PT SE TR).
Published / Publiée :(c)
(51) 7 C23C 16/44, 16/52, 14/56, B08B 7/00,
H01L 21/00
(11) WO 02/00962 (13) A1
(21) PCT/US01/13333
(22) 25 Apr/avr 2001 (25.04.2001)
(25) en (26) en
(30) 09/605,452 28 Jun/juin 2000 US
(28.06.2000)
(43) 3 Jan/jan 2002 (03.01.2002)
(54) SYSTEM AND METHOD FOR IN-SITU
CLEANING OF PROCESS MONITOR
OF SEMI-CONDUCTOR WAFER FAB-
RICATOR
SYSTEME ET PROCEDE DE NET-
TOYAGE IN-SITU D’UN DISPOSITIF
DE SURVEILLANCE DE PROCES-
SUS DANS UNE INSTALLATION DE
TRANSFORMATION DE TRANCHES
DE SEMICONDUCTEUR
(71) MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; Six
Shattuck Road, Andover, MA 01810 (US).
(72) MAHER, Joseph, Ashurst, Jr.; 3 Virginia
Place, Wenham, MA 01984 (US).
(74) KUSMER, Toby, H. et al. / etc.; McDermott,
Will & Emery, 28 State Street, Boston, MA
02109 (US).
(81) DE GB JP.
Published / Publiée :(c)
(51) 7 C23C 16/48
(11) WO 02/00963 (13) A1
(21) PCT/US01/20067
(22) 22 Jun/juin 2001 (22.06.2001)
(25) en (26) en