Programma E6 – Nanotecnologie e nanodispositiviResponsabile: Giampiero AmatoPersonale impegnato (TPE) per tipologia di attivitàPersonaleR&SINRIMR&Scontratto Campioni Taraturee proveSupportoal SALGestionee altroTotaleGiampiero Amato 1.00 1,00Luca Boarino 0.70 0,70Andrea Mario Rossi 1.00 1,00Stefano Borini 1.00 1,00Massimo Pasquale 0.20 0,20Elena Olivetti 0.10 0,10Franco Vinai 0.10 0,10Paola Tiberto 0.10 0,10Marco Coisson 0.10 0,10Federica Celegato 0.10 0,10Roberto Rocci 0.50 0,50Totale 4.70 0.20 4,90Fabio Bellotti (collab.) 0.50 0,50Chiara Portesi (ass.) 0.20 0,20Natascia De Leo (ass.) 0.20 0,20Andrea Giovannozzi (dott.) 0.50 0,50Matteo Bruna (dott.) 0.40 0,40Emanuele Enrico (dott.) 0.40 0,40Totale 2.20 2,20Totale programma 4.70 2.40 7,10Descrizione del programmaPrincipali attività svolteL’obiettivo generale è il consolidamento delle capacità metrologiche dell’Istituto in nuovi campi, traendovantaggio dall’applicazione delle nanotecnologie. Altro obiettivo è il conseguimento di nuove competenzenel campo delle nanotecnologie e della scienza dei materiali, ed il relativo progresso scientifico.Progetto E6.1 Elettronica SingolareNella realizzazione e caratterizzazione di Single Electron Transistors (SET) per il campione di corrente sisono realizzati dispositivi di tipo Cu/AlOx/Al, che in base alla letteratura (Pekkola, Nature, '08) dovrebberorisultare molto più stabili e in grado di sopportare frequenze di modulazione fino a 20 MHz.Si è inoltre provveduto ad una revisione del processo di fabbricazione delle giunzioni tunneling, basatosull'evaporazione a doppio angolo, definendo così un nuovo approccio per la definizione delle giunzioni, eottenendo minori valori di capacità.Progetto E6.2 Dispositivi a base di grafene per la metrologia elettrica quantisticaLo studio delle proprietà del grafene è proseguito nel 20<strong>09</strong> con l?indagine delle proprietà ottiche mediantetecniche di spettroscopia. Sono stati inoltre realizzati dispositivi a base di grafene per la misura dell’effettoHall quantistico.Progetto E6.3 Bio-metrologiaNel 20<strong>09</strong> è iniziato l’allestimento del laboratorio di biometrologia per lo sviluppo di biosensori e le analisi deiprodotti nel campo alimentare. Sono stati individuati i locali, sono stati acquistati i banchi di lavoro, idispositivi tecnici di protezione e le apparecchiature, è stato messo a punto un nuovo spettrofotometro FT-Raman, e nell’ambito del Progetto RIBES, finanziato dalla Regione Val d’Aosta, sono stati sviluppatibiosensori per acido malico, lattico, cadmio, acido arachidonico.Progetto E6.4 Nanofabbricazione e mesotrasportoIl 20<strong>09</strong> è stato un anno fondamentale per questo progetto, grazie al finanziamento di 1.2 Meu fornito dallaCompagnia di San Paolo e con l’allestimento del nuovo laboratorio di nanofabbricazione per fasci ionici edelettronici.46/132
Sono inoltre state sperimentate tecniche di nanofabbricazione per self-assembling, una metodologiacomplementare a quella della nanolitografia mediante fasci ionici ed elettronici, mediante cui è possibilenanostrutturare film sottili e substrati di ogni materiale con risoluzioni fino a 50 nanometri ma su larga area.Mesotrasporto. Lo studio del rilassamento della conducibilità elettrica di Si mesoporoso in funzione dellatemperatura ha permesso di mettere in luce il carattere “estrinseco” delle dinamiche “vetrose” osservate.Risultati di particolare rilievoProgetto E6.1 Elettronica SingolareE’ stata messa a punto una procedura per la caratterizzazione di giunzioni tunnel a 77 K, in grado di fornireinformazioni dettagliate sulle caratteristiche della barriera (altezza di barriera, spessore).E’ stato modellizzato il dispositivo SET, in modo da valutare il ruolo della gap superconduttiva e dellecapacità di giunzione sul diagramma di stabilità, questo nell’ottica sia di avere una completacaratterizzazione dei dispositivi a 50 mK, sia di poter predire il comportamento dei dispositivi realizzatiutilizzando superconduttori di gap più elevata (In, Sn, Nb) o con maggiore energia di carica.Progetto E6.2 Dispositivi a base di grafene per la metrologia elettrica quantisticaE’ stato realizzato un dispositivo con singolo piano atomico di grafene, su cui è stato misurato l’effetto Hallquantistico semi-intero (collaborazione con E2).Progetto E6.3 Bio-metrologiaLa presenza di un laboratorio di Biometrologia operativo tra le divisioni <strong>INRiM</strong> consentirà la messa a puntodi standard per la biologia e lo sviluppo di materiali e dispositivi nel campo delle applicazioni biologiche.Progetto E6.4 Nanofabbricazione e mesotrasportoDopo solo un anno, a partire dalla notizia del finanziamento nel novembre 2008, è oggi attivo e funzionanteun centro regionale di nanofabbricazione per fasci ionici ed elettronici. Le nuove apparecchiature, un SEMFEG con microanalisi, un Dual Beam ESEM FEG ed un diffrattometro X sono state installate nel nuovolaboratorio QR realizzato nella prima parte del 20<strong>09</strong> e nell’edificio D (diffrattometro). Il 30 settembre 20<strong>09</strong> èterminato il collaudo, a novembre è avvenuta l’inaugurazione, e dal dicembre 20<strong>09</strong> il servizio dinanolitografia è attivo.Impatto dei risultati sul contesto esternoProgetto E6.1 Elettronica SingolareLa realizzazione di uno standard di corrente elettrica in INRIM ha indubbie ricadute nel campo delle unità dimisura elettriche. Lo sviluppo di nuove tecnologie per la realizzazione dei SET permetterà di otteneredispositivi più stabili, e correnti singolari più elevate.Progetto E6.2 Dispositivi a base di grafene per la metrologia elettrica quantisticaLa realizzazione di dispositivi ad effetto Hall quantistico basati su grafene rappresenta un importante passonello studio di nuovi campioni di resistenza per la metrologia elettrica quantistica.Progetto E6.3 Bio-metrologiaIl nuovo laboratorio di Biometrologia avrà la possibilità di interfacciarsi con l’industria interessata allametrologia in campo alimentare.Progetto E6.4 Nanofabbricazione e mesotrasportoEssendo Nanofacility Piemonte l’unico laboratorio pubblico nell’Italia del nord a poter disporre di unatecnologia Dual Beam, l’impatto sul contesto esterno è previsto che possa diventare notevole nel giro dipochi mesi. Ad esso afferiscono al momento almeno 6 programmi di due divisioni, 2 diversi Dipartimenti delPolitecnico di Torino, l’Università di Torino e quella del Piemonte Orientale.Confronto tra risultati conseguiti e attesi, punti criticiAllo stato attuale, per l’elettronica singolare i risultati ottenuti corrispondono a quelli attesi. Eventuali criticitàriguardano la ripetibilità del processo di evaporazione, che al momento viene effettuato in un evaporatore ditipo termico. Verso la fine del 20<strong>09</strong> abbiamo provveduto ad acquistare un cannone elettronico, cheinstallato in una opportuna camera in UHV dovrebbe permettere una maggiore ripetibilità del processo dievaporazione.Dispositivi a base di grafene con geometria Hall bar e funzionanti sono stati realizzati con successo, inanticipo rispetto alle scadenze precedentemente indicate.Il laboratorio Nanofacility Piemonte è operativo e funzionante, con un anticipo di oltre 12 mesi rispetto allescadenze precedentemente indicate.Il Progetto regionale D19 (Quantum Dots per applicazioni biologiche) è terminato, con la realizzazione distrutture luminescenti in Si di elevata stabilità e biocompatibilità.47/132
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