Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
ΑΝΑΣΚΟΠΗΣΗ ΕΠΙΣΤΗΜΟΝΙΚΗΣ ΒΙΒΛΙΟΓΡΑΦΙΑΣ<br />
74<br />
L m<br />
Λ = = 2<br />
2<br />
Εξίσωση 2.44<br />
nπd<br />
L πρd<br />
όπου έχουµε κάνει χρήση της σχέσης ότι ο αριθµός µορίων ανά µονάδα όγκου ισούται µε την<br />
πυκνότητα διαιρηµένη µε το µοριακό βάρος m. Η έκφραση αυτή υποθέτει ότι το θεωρούµενο<br />
µόριο κινείται αλλά τα άλλα µόρια στον όγκο είναι ακίνητα. Εάν εγκαταλείψουµε την υπόθεση<br />
αυτή οδηγούµαστε σε µια πιο ακριβή σχέση [95]<br />
Για ένα ιδανικό αέριο P=ρκBT/m, οπότε<br />
m<br />
Λ =<br />
2<br />
Εξίσωση 2.45<br />
π 2ρd κ BT<br />
Λ =<br />
Εξίσωση 2.46<br />
2<br />
π 2Pd<br />
(α) (β)<br />
Σχήµα 2.38: Εκτίµηση µέσης ελεύθερης οδού σε ένα κιβώτιο αέριων µορίων µε ενεργή<br />
διάµετρο d για κάθε µόριο: (α) η ενεργή διάµετρος για δύο µόρια να διασκορπιστούν είναι 2d,<br />
και (β) η µέση ελεύθερη διαδροµή είναι η µέση απόσταση ανάµεσα σε δύο διαδοχικές<br />
διασκορπίσεις<br />
Ο υπολογισµός της δραστικής διαµέτρου d ενός ατόµου ή µορίου απαιτεί λεπτοµερείς<br />
πληροφορίες σχετικά µε τη µοριακή και την ηλεκτρονιακή δοµή του µορίου η του ατόµου.<br />
Μπορούµε εύκολα να κρίνουµε ότι το d είναι ανάλογο µε τον αριθµό των ατόµων σε ένα µόριο<br />
και τον αριθµό των ηλεκτρονίων σε ένα άτοµο. Ας θεωρήσουµε µια τάξη µεγέθους για το d 2.5<br />
Å. Στις κατεργασίες εναπόθεσης λεπτών υµενίων χρησιµοποιούνται συχνά συνθήκες κενού για<br />
την αποφυγή ακαθαρσιών και η µεγάλη µέση ελεύθερη διαδροµή εξασφαλίζει ότι τα άτοµα<br />
µετακινούνται ανεµπόδιστα (βαλλιστικά) από την πηγή στην επιφάνεια εναπόθεσης. Η<br />
Εξίσωση 2.46 δείχνει ότι η µέση ελεύθερη διαδροµή των µορίων αερίων αυξάνεται µε αύξηση
Change language