Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

B
Refokussierspiegelhalterung
Da der Refokussierspiegel streifend in einem Winkel von 2° beleuchtet wird, gestaltet
sich eine Verstellung um die Längsachse als schwierig, wenn dabei die Rotationsachse
durch die Spiegeloberfläche verlaufen soll – dies ist jedoch die Voraussetzung
dafür, dass eine Justierung des Spiegels möglich ist, ohne dass sich dadurch die
Strahlposition auf der Probe ändert.
Da die beiden anderen Rotationen außerhalb des Vakuums realisiert wurden und
entsprechend zwei Wellbälge zum Einsatz kommen, musste die Rotation um die
Längsachse in das Vakuum verlagert werden. Durch eine entsprechende Gestängemimik
mit Kreuzfedergelenken wurden die Anforderungen an die Halterung
erfüllt. Zwei parallele Platten sorgen dabei für die nötige Führung der Stangen, an
denen die eigentliche Spiegelaufnahme aufgehängt ist.
Um den Spiegelstrom messen zu können, ist die Aufnahme über Saphir- und Keramikscheiben
gegenüber der Verstellmimik elektrisch isoliert. Ein Koaxkabel dient
zur Kontaktierung.
Oberhalb der Spiegeloberfläche wurde ein Gitter montiert, das, durch Anlegen einer
geeigneten Spannung, am Spiegel ausgelöste Elektronen „absaugen“ kann, so dass
diese nicht in den Probenraum gelangen können.
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