Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

24 2 Physikalische Grundlagen
Aberrationskorrigierte Mikroskopie
Wie bereits erwähnt, wird die Ortsauflösung
eines PEEMs nicht zuletzt durch die
sphärischen und chromatischen Aberrationen
der Objektivlinse beeinflusst. Bereits
1936 zeigte Scherzer, dass diese Fehler
für Elektronenlinsen prinzipiell nicht
vermeidbar und durch solche auch nicht
korrigierbar sind [30]. Eine Möglichkeit,
diese Fehler dennoch – zumindest teilweise
– zu kompensieren, besteht in der Verwendung
eines Elektronenspiegels, in dem
die Elektronen reflektiert werden. Wie in
Abbildung 2.11 gezeigt, macht dies die Verwendung
eines magnetischen Strahlteilers
nötig, der den ein- und auslaufenden Elektronenstrahl
voneinander trennt und eine
senkrechte Beleuchtung des Spiegels ermöglicht.
hν
Detektor
Projektionsoptik
Feldblende
Transferoptik
Aperturblende
Objektivlinse
Probe
Strahlteiler
Spiegelkorrektor
Abbildung 2.11: Schematische Darstellung
eines aberrationskorrigierten
PEEMs.
Ein derart korrigiertes Gerät würde seine optimale Ortsauflösung bei größerer
Transmission erreichen. Bei einer mit unkorrigierten Geräten vergleichbaren Auflösung
würde es die Verwendung größerer Aperturblenden ermöglichen, was zu
einer noch deutlicheren Steigerung der Transmission führen würde [31].
Niederenergetische Elektronenbeugungsmikroskopie
Neben den spektroskopischen Methoden wie PES und NEXAFS gibt es innerhalb
der Oberflächenphysik, wie bereits in Abschnitt 2.2 beschrieben, noch die häufig
verwendete LEED-Methode. Diese Beugungsmethode kann auch für mikroskopische
Abbildungen herangezogen werden: Abbildung 2.12 zeigt schematisch ein
Mikroskop für niederenergetische Elektronenbeugung (LEEM).