Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

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40 4 Experimentelles filter und der Detektor. Das Strahlrohr wird durch das Mikroskop verdeckt. Die meisten Experimente wurden mit diesem Aufbau durchgeführt. Die aktuelle Endausbaustufe mit Strahlteiler, Spiegelkorrektor und Elektronenquelle zeigt das Foto in Abbildung 4.4. Das Mikroskop steht nun auf einem hochstabilen schwingungsgedämpften Gestell, zwischen Messkammer und Omegafilter wurden der Strahlteiler, der Spiegelkorrektor sowie die Elektronenkanone eingefügt. Die LEEM-Messungen wurden mit dieser Endausbaustufe durchgeführt. Während der Messungen wurde in der Messkammer mittels einer Ionengetterpumpe sowie einer Titansublimationspumpe regelmäßig ein Basisdruck von unter 5 · 10 −10 mbar erreicht. In der von einer Membran-Vorpumpe, Turbomolekularpumpe und Ionengetterpumpe gepumpten Mini-Präparationskammer und Schleuse konnte ein Basisdruck von unter 2 · 10 −9 mbar hergestellt werden. Im Omega- Filter wurde mit Ionengetter- und Titansublimationspumpen ein Druck von unter 2 · 10 −10 mbar gehalten. Zum Einbringen der Proben diente die in Abbildung 4.5 gezeigte Schleuse. Die Probe wird dabei in dem Würfel in einen „Fahrstuhl“ eingebracht. Dieser kann dann in den Quader gefahren werden. Eine Vitondichtung an diesem Fahrstuhl ermöglicht es, den Würfel zu öffnen, ohne dabei den Quader belüften zu müssen. Auch die zur Evakuierung eingesetzte Turbomolekularpumpe kann durch ein Ventil abgekoppelt werden und muss während des Einschleusens nicht belüftet werden. Das Anpumpen des Würfels erfolgt dann über eine Nebenleitung mit der Membran- Vorpumpe. Mit diesem Konzept ist ein ausgesprochen schneller Wechsel der Proben (innerhalb weniger Minuten) möglich. Zwischen Schleuse und Messkammer befindet sich eine sechseckige Mini-Präparationskammer. Mit einem Mini-Manipulator, in dem das Parken und Präparieren einer Probe möglich ist. Der in der eigentlichen Messkammer angebrachte Manipulator gestattet Bewegungen der Probe in alle drei Raumrichtungen. Entlang der optischen Achse des Mikroskops (z-Richtung) erfolgt dabei die Verstellung zwischen Transfer- und Messposition. In x- und y-Richtung ist mithilfe von Mikrometerschrauben und -uhren eine exakte Positionierung der Probe möglich (Genauigkeit einige 0,1 µm).
4.2 Experimenteller Aufbau 41 Abbildung 4.3: Das SMART in seiner Ausbaustufe als PEEM. Abbildung 4.4: Das SMART in der Endversion.
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