Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

26 2 Physikalische Grundlagen
zeigt dann nur dort Intensität, wo die entsprechende Beugungsbedingung erfüllt
ist. Dieser, für kristalline Proben wohl bedeutendste Kontrastmechanismus wird
Dunkelfeldmikroskopie genannt [36].
Werden die Elektronen durch ein entsprechend angelegtes Potenzial kurz vor der
Probe reflektiert, so erhält man im Kontrast ein Abbild der elektrischen und magnetischen
Felder an der Oberfläche. Dieses Spiegelelektronenmikroskopie (MEM)
genannte Verfahren kann auch bei nichtkristallinen Proben, die aufgrund fehlender
Periodizität kein LEED zeigen, genutzt werden.
Mit solchen Instrumenten wurde bereits eine Ortsauflösung von etwa 5 nm erreicht
[37].
2.3.3 Das SMART-Spektromikroskop
Das SMART wurde ursprünglich aus dem Gedanken geboren, ein aberrationskorrigiertes
LEEM zu konstruieren [38]. Ein entsprechender Spiegelkorrektor sollte
demnach, analog zu Abbildung 2.11, per magnetischem Strahlteiler in ein LEEM
gemäß Abbildung 2.12 „eingeschleust“ werden. Das so angedachte Gerät wurde um
ein abbildendes Elektronenenergiefilter erweitert, so dass sich zusätzlich die volle
Funktionalität eines energiegefilterten PEEMs ergibt [39]. Insgesamt steht damit ein
hochkorrigiertes und energiegefiltertes kombiniertes PEEM/LEEM zur Verfügung.
Dieses Gerät wurde in einer Kooperation von mehreren Universitäten, einem Max-
Planck-Institut sowie einem Industrieunternehmen geplant und gebaut [40, 41]. Es
erhielt wegen der vielseitigen Verwendbarkeit den Namen SpektroMikroskop mit
Aberrationskorrektur für viele Relevante Techniken (SMART). Betrachtet man die
experimentellen Möglichkeiten dieses Gerätes, so erscheint dieser Name, zumindest
was die Oberflächenphysik betrifft, durchaus als gerechtfertigt. Für das SMART
ist der die Ortsauflösung limitierende Punkt aus der Liste von Seite 22 Nummer 3:
die elektrische und mechanische Stabilität des Gerätes und der Versorgungen. Alle
anderen Punkte sind nicht mehr prinzipiell begrenzend.
In Abbildung 2.13 ist das komplette Spektromikroskop schematisch dargestellt.