Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

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filter und der Detektor. Das Strahlrohr wird durch das Mikroskop verdeckt. Die
meisten Experimente wurden mit diesem Aufbau durchgeführt. Die aktuelle Endausbaustufe
mit Strahlteiler, Spiegelkorrektor und Elektronenquelle zeigt das Foto
in Abbildung 4.4. Das Mikroskop steht nun auf einem hochstabilen schwingungsgedämpften
Gestell, zwischen Messkammer und Omegafilter wurden der Strahlteiler,
der Spiegelkorrektor sowie die Elektronenkanone eingefügt. Die LEEM-Messungen
wurden mit dieser Endausbaustufe durchgeführt.
Während der Messungen wurde in der Messkammer mittels einer Ionengetterpumpe
sowie einer Titansublimationspumpe regelmäßig ein Basisdruck von unter
5 · 10 −10 mbar erreicht. In der von einer Membran-Vorpumpe, Turbomolekularpumpe
und Ionengetterpumpe gepumpten Mini-Präparationskammer und Schleuse
konnte ein Basisdruck von unter 2 · 10 −9 mbar hergestellt werden. Im Omega-
Filter wurde mit Ionengetter- und Titansublimationspumpen ein Druck von unter
2 · 10 −10 mbar gehalten.
Zum Einbringen der Proben diente die in Abbildung 4.5 gezeigte Schleuse. Die
Probe wird dabei in dem Würfel in einen „Fahrstuhl“ eingebracht. Dieser kann
dann in den Quader gefahren werden. Eine Vitondichtung an diesem Fahrstuhl
ermöglicht es, den Würfel zu öffnen, ohne dabei den Quader belüften zu müssen.
Auch die zur Evakuierung eingesetzte Turbomolekularpumpe kann durch ein Ventil
abgekoppelt werden und muss während des Einschleusens nicht belüftet werden.
Das Anpumpen des Würfels erfolgt dann über eine Nebenleitung mit der Membran-
Vorpumpe. Mit diesem Konzept ist ein ausgesprochen schneller Wechsel der Proben
(innerhalb weniger Minuten) möglich.
Zwischen Schleuse und Messkammer befindet sich eine sechseckige Mini-Präparationskammer.
Mit einem Mini-Manipulator, in dem das Parken und Präparieren
einer Probe möglich ist.
Der in der eigentlichen Messkammer angebrachte Manipulator gestattet Bewegungen
der Probe in alle drei Raumrichtungen. Entlang der optischen Achse des
Mikroskops (z-Richtung) erfolgt dabei die Verstellung zwischen Transfer- und
Messposition. In x- und y-Richtung ist mithilfe von Mikrometerschrauben und
-uhren eine exakte Positionierung der Probe möglich (Genauigkeit einige 0,1 µm).