Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

2.3 Mikroskopische Methoden 29
Transmission
10 -4 10 -3 10 -2 10 -1
100
d (nm)
10
unkorrigiert
d c
d (4)
d s
korrigiert
d (5)
s
d d
sc
d (3)
c
1
10 100 1000
α (mrad)
Abbildung 2.14: Maximale Auflösung d des SMART in Abhängigkeit vom Aperturwinkel
α (Elektronenstartenergie E 0 = 10 eV, ∆E = 2 eV, Auflösungskomponenten:
d d Beugung, d c chromatische, d s sphärische und d sc sphärisch-chromatische Aberrationen,
gestrichelt: unkorrigierter Fall, durchgezogen: korrigierter Fall; aus [41]).
An die Transferoptik schließt sich das Elektronenenergiefilter an. Dieser rein magnetische,
abbildende Energieanalysator ist frei von Bildfehlern bis hin zur zweiten
Ordnung [43, 44]. Wegen seiner Ω-artigen Form trägt diese Filterart auch den
Namen „Omega-Filter“. Mit einer Dispersion von 35 µmeV (bei E n = 15 keV) und
einer kleinsten Austrittsspaltbreite von 3,5 µm ergibt sich eine Energieauflösung
von 100 meV.
Die folgende Projektoroptik bildet entweder das energiegefilterte Bild oder die
dispersive Ebene auf einen Flächendetektor ab. Zum Einsatz kommt an dieser Stelle
eine fest installierte Slow Scan CCD-Kamera oder eine einfahrbare Video-CCD-
Kamera mit vorgeschalteten Kanalplatten.
Zusammengefasst ermöglicht das SMART Experimente mit allen bisher vorgestellten
Methoden mit einer Ortsauflösung von zukünftig bis zu 2 nm (gegenwärtig