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Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg

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10 2 Physikalische Grundlagen<br />

E kin<br />

E vak<br />

E B3<br />

E B2<br />

E B1<br />

hν<br />

(a) (b) (c)<br />

hν<br />

Abbildung 2.4: Schematische Darstellung des<br />

(a) <strong>an</strong>regenden NEXAFS-Prozesses und <strong>an</strong>schließender<br />

Zerfall des Rumpfniveauloches<br />

über (b) Auger-Prozess und (c) Fluoreszenz.<br />

Verwendet m<strong>an</strong> dagegen Signale aus Sekundärprozessen, so k<strong>an</strong>n m<strong>an</strong> diese Probleme<br />

umgehen. Die Anregung beim NEXAFS-Prozess lässt ein Rumpfloch zurück,<br />

das im Weiteren durch Fluoreszenz oder einen Auger-Prozess zerfallen k<strong>an</strong>n (siehe<br />

Abbildung 2.4). Bei den leichteren Elementen dominiert dabei der Auger-Zerfall<br />

und es liegt deshalb nahe, dessen Ausbeute (engl. yield) als Maß für die Absorption<br />

zu nutzen. Bei der Detektion der emittierten Augerelektronen unterscheidet m<strong>an</strong><br />

zwischen Total Electron Yield (TEY), Partial Electron Yield (PEY) und Auger Electron<br />

Yield (AEY). Beim TEY werden alle Elektronen detektiert, also auch gestreute<br />

Augerelektronen und Photoelektronen aus höheren Niveaus. Detektiert m<strong>an</strong> nur<br />

Elektronen oberhalb einer bestimmten Energie (Hochpassfilter), so erhält m<strong>an</strong><br />

den PEY, bei dem das Signal-Rausch-Verhältnis besser ist, da der Untergrund aufgrund<br />

gestreuter Elektronen verringert werden k<strong>an</strong>n. Beim AEY hingegen wird<br />

die Energieverteilung der detektierten Elektronen auch nach oben hin begrenzt<br />

(B<strong>an</strong>dpassfilter), so dass nur die Intensität einer bestimmten Augerlinie als Maß<br />

für die Absorption dient. Das Signal-Rausch-Verhältnis ist hierbei am besten, wohingegen<br />

die Intensität des Signals am geringsten ausfällt. Bei diesen Arten der<br />

Messung werden Elektronen in einem der PES <strong>an</strong>alogen Energiebereich verwendet,<br />

somit sind auch NEXAFS-Messungen ähnlich oberflächenempfindlich. In jedem<br />

Fall wird eine Photonenquelle mit durchstimmbarer Photonenenergie und möglichst<br />

hoher Photonenenergieauflösung benötigt, so dass sich die Verwendung von<br />

Synchrotronstrahlung geradezu <strong>an</strong>bietet.

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