Spektromikroskopische Untersuchungen an ... - OPUS Würzburg
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10 2 Physikalische Grundlagen<br />
E kin<br />
E vak<br />
E B3<br />
E B2<br />
E B1<br />
hν<br />
(a) (b) (c)<br />
hν<br />
Abbildung 2.4: Schematische Darstellung des<br />
(a) <strong>an</strong>regenden NEXAFS-Prozesses und <strong>an</strong>schließender<br />
Zerfall des Rumpfniveauloches<br />
über (b) Auger-Prozess und (c) Fluoreszenz.<br />
Verwendet m<strong>an</strong> dagegen Signale aus Sekundärprozessen, so k<strong>an</strong>n m<strong>an</strong> diese Probleme<br />
umgehen. Die Anregung beim NEXAFS-Prozess lässt ein Rumpfloch zurück,<br />
das im Weiteren durch Fluoreszenz oder einen Auger-Prozess zerfallen k<strong>an</strong>n (siehe<br />
Abbildung 2.4). Bei den leichteren Elementen dominiert dabei der Auger-Zerfall<br />
und es liegt deshalb nahe, dessen Ausbeute (engl. yield) als Maß für die Absorption<br />
zu nutzen. Bei der Detektion der emittierten Augerelektronen unterscheidet m<strong>an</strong><br />
zwischen Total Electron Yield (TEY), Partial Electron Yield (PEY) und Auger Electron<br />
Yield (AEY). Beim TEY werden alle Elektronen detektiert, also auch gestreute<br />
Augerelektronen und Photoelektronen aus höheren Niveaus. Detektiert m<strong>an</strong> nur<br />
Elektronen oberhalb einer bestimmten Energie (Hochpassfilter), so erhält m<strong>an</strong><br />
den PEY, bei dem das Signal-Rausch-Verhältnis besser ist, da der Untergrund aufgrund<br />
gestreuter Elektronen verringert werden k<strong>an</strong>n. Beim AEY hingegen wird<br />
die Energieverteilung der detektierten Elektronen auch nach oben hin begrenzt<br />
(B<strong>an</strong>dpassfilter), so dass nur die Intensität einer bestimmten Augerlinie als Maß<br />
für die Absorption dient. Das Signal-Rausch-Verhältnis ist hierbei am besten, wohingegen<br />
die Intensität des Signals am geringsten ausfällt. Bei diesen Arten der<br />
Messung werden Elektronen in einem der PES <strong>an</strong>alogen Energiebereich verwendet,<br />
somit sind auch NEXAFS-Messungen ähnlich oberflächenempfindlich. In jedem<br />
Fall wird eine Photonenquelle mit durchstimmbarer Photonenenergie und möglichst<br />
hoher Photonenenergieauflösung benötigt, so dass sich die Verwendung von<br />
Synchrotronstrahlung geradezu <strong>an</strong>bietet.