Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
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[SER-98]<br />
[SHA-98]<br />
[SIE-00]<br />
Literatur<br />
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Siebenhaar, Chr.: Präzisionsjustierungen durch Einleitung von mechanischen<br />
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[SIE-04] Siplace HF-Serie. Firmenschrift Siemens Dematic AG, München, 2004<br />
[SIM-00]<br />
[STR-98]<br />
[TAY-98]<br />
[THE-02]<br />
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Form Talysurf 120L – Aspheric Measurement System. Firmenschrift<br />
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Thelemann T. et al.: Using LTCC for Microsystems. Microelectronics<br />
International 19/3 (2002), S. 19-23<br />
[THO-04] Produktkatalog Thorlabs GmbH, Karlsfeld, 2004<br />
[THU-03]<br />
[TUC-81]<br />
[VIA-02]<br />
Thust, H. et al.: Embedded Components and function in LTCC. In:<br />
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2002<br />
[WEI-01] Weiss, St.: The Automation Crisis. In: Photonics Spectra, June 2001,<br />
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[YOD-98]<br />
[YOD-02]<br />
[ZAP-04]<br />
[ZEI-03]<br />
Yoder, P.: Design and mounting of prisms and small mirrors in optical<br />
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Yoder, P.: Mounting optics in optical instruments. 1. Auflage,<br />
Washington: SPIE Press, 2002<br />
Zappe, H.: Laser Diode Microsystems. 1. Auflage, Berlin: Springer-<br />
Verlag, 2004<br />
Das konfokale Laser Scanning Mikroskop. Firmenschrift Carl Zeiss<br />
Jena GmbH, 2003<br />
[DIN 16920] DIN 16920: Klebstoffe, Klebstoffbearbeitung, Begriffe. Ausgabe 1981<br />
[DIN 32565] Normentwurf DIN 32565: Fertigungsmittel der Mikrosystemtechnik –<br />
Schnittstelle zwischen Endeffektor <strong>und</strong> Handhabungsgerät. 2003<br />
[DIN 58390] DIN 58390: Umweltprüfung von optischen Geräten. Ausgabe 1991-12<br />
[VDI 2860]<br />
VDI-Richtlinie 2860: Montage- <strong>und</strong> Handhabungstechnik. Ausgabe<br />
1990<br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 101
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