Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 2
Zur Charakterisierung der Fassungsstrukturen wurden die Abstände der Auflagekanten
sowie der Anschlagebenen für Kollimations- und Fokuslinse mit einem Videomikroskop
und angeschlossener Bildverarbeitung vermessen.
X
2.65mm
X
2.65mm
Z
Z
Bild 41:
Messbild LTCC (links) und Al 2 O 3 (rechts), 2.5fache Vergrößerung
Aus der 2.5fachen Vergrößerung des Mikroskops resultiert eine rechnerische Pixelauflösung
von 5.5 µm. Zur Abschätzung der Messgenauigkeit ist nach [NEU-96] im
wesentlichen die Beurteilung der Antastunsicherheit und der Maßabweichung notwendig.
Die Maßabweichung als Verkörperung systematischer Messfehler beschreibt
dabei die Summe aus Fehlern des Maßstabsfaktors, der Verzeichnung des Objektivs
und der Neigung zwischen Objekt- und Messebene.
1 3 5
0
LTCC-Substrat Nr.
-20
-40
-60
-80
-100
-120
-140
δ A / µm
-160
δ A / µm Fok.linse
Reihe1
Koll.linse
Reihe2
40
30
20
10
Al 2 O 3 -Substrat Nr.
0
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
1 2 3 4 5 6
10
5
LTCC-Substrat Nr.
0
-5
-10
-15
-20
-25
δ A / µm
20
δ A / µm
15
10
5
0
-5
Al 2 O 3 -Substrat Nr.
-10
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
Bild 42:
Abstandsmessung Auflagekanten (links), Anschlagebenen (rechts)
Bei der Kalibrierung des Mikroskops wurde die Messunsicherheit bezüglich der Maß-
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