Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 2
wie in Bild 38 dargestellt. Bei den LTCC-Substraten ist die Verrundung konvexer
Ecken, resultierend aus dem runden Stanzwerkzeug, deutlich sichtbar. Weniger
deutlich tritt die Feinstruktur an geraden Kanten hervor, die sich aus dem Zusammensetzen
der Kontur durch mehrere Stanzschritte ergibt. Nicht als Auflagekanten
dienende Konvexstrukturen sind abgerundet, die Auflagekanten weisen einen Kantenradius
von ca. 10 µm bis 20 µm auf.
Klebstofffalle
X
Anschlagkante
X
Z
Auflagekante
X
Z
Bild 38:
Fassungsstrukturen (rot) der Fokuslinse in LTCC (links) und Al 2 O 3 (rechts)
Die Al 2 O 3 -Substrate sind an den Auflagekanten und Anschlagebenen zum größten
Teil sauber geschnitten, an nicht funktionsrelevanten Geometrien des Laserschnitts
zeigt sich hingegen deutlich die Qualität nicht optimalen Schnittparameter.
b) Charakterisierung der Substratebenheit
Zur Bestimmung der Ebenheit der Substrate kommt als taktiles Messgerät ein Tastschnittgerät
„Talysurf 120L“ [TAY-98] zum Einsatz.
c Z,1a
c X
c Z,1b
c X c Z,1
X
X
Z
Z
c Z,2a
c Z,2b
c Z,2
Bild 39:
Lage der Verfahrstrecken zur taktilen Vermessung der Substratwelligkeit c
Beim Tastschnitt wird die an einem Hebelarm aufgehängte Diamanttastspitze
(Spitzenradius 2 µm) mit einer Andruckkraft von ca. 1 mN über die zu vermessende
Fläche verfahren. Durch eine interferometrische Messung der Hebelauslenkung und
sehr geringe Geradheitsabweichungen über der Verfahrstrecke erreicht dieses Gerät
eine Auflösung von 12.8 nm und eine Reproduzierbarkeit von 0.05 µm in Y-Richtung
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum Aufbau hybrid-optischer Systeme 66