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Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

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• Die temperaturgeregelte Prozessführung des Laserstrahllötens stößt aufgr<strong>und</strong><br />

der schrägen Einstrahlung des Laserstrahls, der geometrischen Unregelmäßigkeit<br />

der Fügeflächen <strong>und</strong> der damit verb<strong>und</strong>enen Unsicherheit bei der Aufnahme des<br />

Temperatursignals an Grenzen <strong>und</strong> führt derzeit zu keinen reproduzierbaren Ergebnissen.<br />

Es ist zu prüfen, ob eine leistungsgesteuerte Prozessführung in geeigneter<br />

Weise für das schrägeinstrahlende Laserstrahllöten parametrisiert<br />

werden kann.<br />

• Der metallische Gr<strong>und</strong>körper der Laserdiode stellt eine große Wärmesenke dar,<br />

die es verhindert, dass der Laser diese Benetzungsfläche ausreichend erwärmen<br />

kann, was ebenfalls zu Benetzungsproblemen <strong>und</strong> nicht reproduzierbaren Fügeergebnissen<br />

führt.<br />

4. Diskussion der Ergebnisse<br />

Mit den Resultaten der Montage der Strahlkollimationsbaugruppe auf der keramischen<br />

Systemplattform in LTCC kann die in Bild 3 allgemein dargestellte Toleranzkette<br />

bei der Montage hybrid-optischer Systeme nun für die beiden Strategien des<br />

Positionierens an mechanischen Anschlägen <strong>und</strong> des Justierens mit Hilfe der optischen<br />

Funktion mit konkreten Werten untersetzt werden. Unter Berücksichtigung<br />

der Einschränkung, dass bei der Realisierung des vorgeschlagenen Aufbaukonzepts<br />

auf industriell verfügbare Strukturierungstechnologien für ebene keramische Substrate<br />

zurückgegriffen werden soll, sind die Ergebnisse wie folgt zu beurteilen:<br />

• Die Strukturierung ebener keramischer Substrate erlaubt es, auf mittelbare <strong>und</strong><br />

zusätzliche Fassungselemente zu verzichten. Die Montage hybrid-optischer Systeme<br />

kann so wesentlich vereinfacht werden. Die besonders einfache <strong>und</strong> kostengünstige<br />

Montage, bei der Bauelemente gegen mechanische Anschläge positioniert<br />

werden, ist mit dem vorgestellten Lösungsansatz <strong>und</strong> den derzeit verfügbaren<br />

Strukturierungstechnologien theoretisch dann sinnvoll, wenn die zulässigen<br />

Positionstoleranzen des zu montierenden Bauelements > ±20 µm (Einlagentechnologie)<br />

bis ±50 µm (Mehrlagentechnologie) betragen. Praktisch müssen die<br />

Strukturierungstechnologien im Prototypenstadium evaluiert <strong>und</strong> optimiert werden,<br />

da insbesondere in der Mehrlagentechnologie noch größere Ungenauigkeiten<br />

(bis ±90 µm, Bild 54) auftreten können.<br />

<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 89

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