Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 3
satz kommende Fügetechnologie darf die Bauelementeposition möglichst nicht
beeinflussen bzw. muss dieser Einfluss so reproduzierbar sein, dass vorab eine
Kompensation erfolgen kann. In Ausnahmefällen und besonders bei extremen
Anforderungen an die Genauigkeit der Bauelementeposition ist auch ein Justieren
nach dem Fügen möglich .
Die folgenden Kapitel zeigen, wie diese Anforderungen bei der Entwicklung von
Technologien und Vorrichtungen für die Montage der Strahlkollimationsoptik auf
keramischen Systemplattformen beachtet werden und zu welchen Ergebnissen dies
führt. Die Ausführungen beschränken sich auf den Aufbau von fünf Demonstratoren
auf den in Kapitel 2.4.2 evaluierten LTCC-Substraten, da hier der Zusammenhang
zwischen den Genauigkeiten der Substratgeometrien und dem Montageergebnis
besonders deutlich wird. Die Montage der Strahlkollimationsoptik auf den ebenfalls in
Kapitel 2.4.2 evaluierten Al 2 O 3 -Substraten erfolgt analog.
3.2 Handhabung optoelektronischer Bauelemente
Aufgrund der Ebenheit der Systemplattform und der im Substrat eingebetteten
Fassungsstrukturen stehen für die Handhabung der zu montierenden optischen
Komponenten nur begrenzt Handhabungsflächen zur Verfügung (Bild 43).
Greifer mit Schnittstelle nach DIN 32565
Y
X
Ø 20 mm
Freiraum für
Fügewerkzeuge
Substrat
Bauelement
Bild 43: Besonderheiten der Handhabung am Beispiel der Strahlkollimationsoptik
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum Aufbau hybrid-optischer Systeme 73