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Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

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Kapitel 2<br />

Anlageecken <strong>und</strong> -kanten wie in Bild 29 dargestellt eignen sich für Bauelemente mit<br />

konvex sphärischen, asphärischen bzw. zylindrischen oder planen Funktionsflächen<br />

<strong>und</strong> bestimmen deren Position in Z sowie rotY <strong>und</strong> gegebenenfalls auch rotX, indem<br />

das Bauelement durch Positioniersystem <strong>und</strong> Greifer gegen den Anschlag geschoben<br />

wird. Die Paarung erfolgt direkt an der optischen Funktionsfläche. Konvex<br />

sphärische bzw. asphärische Funktionsflächen führen zu einer punktförmigen, nicht<br />

überbestimmten Paarung, konvex zylindrische oder plane Funktionsflächen hingegen<br />

zu eine linien- bzw. flächenförmigen, überbestimmten Paarung. Anlageecken <strong>und</strong><br />

-kanten sind in der Ein- <strong>und</strong> Mehrlagentechnologie strukturierbar. Die für die<br />

Genauigkeit der axialen Positionsbestimmung des Bauelements maßgeblichen<br />

einfließenden Toleranzen sind in Bild 30 zusammengefasst. Nicht betrachtet in<br />

diesem Zusammenhang werden Toleranzen, die sich durch eine Fehllage der<br />

optischen Achse im Bauelement selbst ergeben (Dezentrierung, Windschiefheit).<br />

Die Positionsabweichung ∆ r kann in Vektorschreibweise wie folgt formuliert werden,<br />

wobei der Fehlervektor F r wiederum die Verschiebung des Anlagepunkts <strong>und</strong> der<br />

r<br />

Vektor den sich einstellenden tatsächlichen Anlagevektor beschreiben:<br />

R Re al<br />

r r r r<br />

∆ = R + F − R<br />

(14)<br />

Ideal<br />

Im Gegensatz <strong>zum</strong> Auflagewinkel bei Auflagekanten wird zur Charakterisierung der<br />

Anlageecken bzw. –kanten die freie Apertur A eingeführt. Relevante Geometriefehler<br />

an dieser Fassungsstruktur sind entsprechend Bild 30 die Toleranz der Apertur, die<br />

Fehllage der Anlagestruktur in der X-Z-<strong>Ebene</strong> <strong>und</strong> die Kantenverr<strong>und</strong>ung, die sich<br />

durch folgende Gleichungen in Vektor- <strong>und</strong> Komponentenschreibweise beschreiben<br />

lassen:<br />

Aperturbreite:<br />

Re al<br />

r r r r<br />

∆ = R 1<br />

Ideal<br />

+ δ<br />

A<br />

−R<br />

2<br />

Real<br />

(15)<br />

⎛<br />

⎜<br />

⎜ 0<br />

⎜<br />

⎝∆<br />

⎞<br />

⎛<br />

⎟<br />

⎜<br />

⎟ = ⎜<br />

⎟<br />

⎜<br />

⎠ ⎜<br />

⎝<br />

1<br />

0 2 A<br />

−<br />

( 1 A)<br />

2<br />

⎞<br />

⎟<br />

⎛ 1<br />

⎜<br />

δ<br />

2<br />

A<br />

⎟ + ⎜ 0<br />

⎟ ⎜<br />

⎟<br />

0<br />

⎠ ⎝<br />

0<br />

, X<br />

Z<br />

R<br />

⎞<br />

⎟ ⎛−R<br />

cos<br />

⎜<br />

⎟ + ⎜ 0<br />

⎟<br />

⎜<br />

⎝ − sin<br />

⎠<br />

2<br />

2<br />

R<br />

( β )<br />

⎞<br />

( β ) ⎟⎟⎟ ⎠<br />

(16)<br />

Ein fehlerhafter Abstand der Auflagekanten entsteht durch die Ungenauigkeit des<br />

Strukturierungsverfahrens, in der Mehrlagentechnologie aber auch durch die<br />

Laminierungenauigkeit <strong>und</strong> den Sinterschrumpf.<br />

<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 55

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