Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 1
5 mm
Bild 12:
Links: Diodenlasermodul (Coherent Inc.) auf einem Al 2 O 3 -Substrat, Mitte: montiertes
optisches Bauelement im Detail, Rechts: Diodenlasermodul auf LTCC [HEI-04]
Lösungen, die die Strukturierungsmöglichkeiten keramischer Substrate nutzen, um
Plattformen mit unmittelbaren Fassungen für hybrid-optische Systeme bereitzustellen,
sind bisher kaum bekannt [MAZ-03]. Zu erwähnen ist das dem dieser Arbeit
zugrundeliegenden Ansatz ähnliche Konzept „ATOM“ (Advanced Technology for
Optoelectronic Modules) eines Herstellers [CMA-02]. Dieses basiert auf strukturierten
LTCC-Substrate (Bild 13), in denen Kavitäten zur Vorpositionierung von Faserferrulen
und zur Aufnahme von Haltern für Halbleiter-Laserdioden dienen oder aufwendig
mit strukturierten Siliziumstempeln geprägte V-Gruben [BOU-03] Multimode-
Glasfasern unmittelbar fassen (erforderliche Genauigkeit > ±25 µm). Erreichte Genauigkeiten
und erforderliche Montageprozesse werden in der Literatur bisher nicht
quantitativ beschrieben. Der Einsatz des Prägeverfahrens zur Strukturierung lässt
auf Anwendungen in der Telekommunikation mit hohen Stückzahlen schließen.
10 mm
LTCC-Substrat
Sende-/ Empfangsdioden
Glasfasern
V-Grube für
POM-Faser
Bild 13:
Ferrulenaufnahme
LTCC-Substrat mit Kavitäten für optoelektronische Module [CMA-02]
Vor- und Nachteile der vorgestellten prinzipiellen Ansätze zum Aufbau hybrid-optischer
Systeme werden in Tabelle 4 abschließend einander gegenübergestellt.
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum Aufbau hybrid-optischer Systeme 27