Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
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Kapitel 3<br />
3σ:<br />
8.7 µm<br />
4.8 µm<br />
15.3 µm<br />
Y<br />
Z<br />
X<br />
Bild 46:<br />
Wiederholgenauigkeit des Positioniersystems RP-1AH (links), Arbeitsraum (rechts)<br />
a) Positionieren gegen Anschläge<br />
Die beiden R<strong>und</strong>optiken, Kollimations- <strong>und</strong> Fokuslinse, werden bei der Montage der<br />
Strahlkollimationsoptik sowohl axial als auch lateral gegen Anschläge positioniert.<br />
Dies ist möglich, da die Kollimationslinse (Montageschritt 1) das Bezugskoordinatensystem<br />
bereitstellt <strong>und</strong> somit als Referenz für die Montage aller weiteren Bauelemente<br />
dient <strong>und</strong> die Fokuslinse (Montageschritt 3) laut Optikdesign mit einer Genauigkeit<br />
von ±50 µm bezüglich der Kollimationslinse positioniert werden muss. Bild 47 zeigt<br />
den Ablauf der Positionierung, bei der die jeweilige Linse zunächst grob vorpositioniert<br />
<strong>und</strong> anschließend im ersten Schritt gegen den axialen Anschlag angelegt wird.<br />
Vakuumgreifer<br />
1.<br />
Y<br />
R<strong>und</strong>optik<br />
2.<br />
Z<br />
Bild 47:<br />
Auflagekante<br />
Substrat<br />
Anlageebene<br />
Positionieren einer R<strong>und</strong>optik gegen Anschläge (1.: Axiales Anlegen, 2.: Laterales<br />
Auflegen)<br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 77
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