Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
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Kapitel 2<br />
R = 1.5mm<br />
R = 1.5mm<br />
R = 2.9mm<br />
R = 7.8mm<br />
R = 2.9mm<br />
R = 7.8mm<br />
Bild 31:<br />
Eckenverr<strong>und</strong>ung (links) <strong>und</strong> Aperturbreitentoleranz (rechts) an Anlagekanten mit<br />
einer Aperturbreite A von 2.236 mm. Für R → ∞ gehen die Lagefehler ∆Z gegen 0.<br />
2.3.2 Sonstige Fassungsgeometrien <strong>und</strong> Referenzstrukturen<br />
Die Strukturierungsmöglichkeiten für keramische Substrate ermöglichen über die Erzeugung<br />
mechanischer Anschläge hinaus auch die Integration weiterer, die Montage<br />
optischer Bauelemente unterstützender geometrischer Strukturen.<br />
a) Sonstige Fassungsgeometrien<br />
• Klebstofffallen: In der Mehrlagentechnologie können an mechanischen Anschlägen<br />
Klebstofffallen strukturiert werden, um beim Fügen mittels Kleben durch Kapillareffekte<br />
eine definierte Benetzung zu erzielen. Die dadurch ebenfalls mögliche<br />
Begrenzung des direkt an der Fügestelle applizierten Klebstoffvolumen vermindert<br />
den Einfluss der Klebstoffschrumpfung während des Aushärtens.<br />
Bild 32:<br />
Unterschiedliche Ausführung von Klebstofffallen: links fein strukturiert <strong>und</strong> an die<br />
Bauelementkontur angepasst, rechts grob strukturiert<br />
• Kavitäten: Bauelementgeometrien können in die Substratebene hineinragen,<br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 57