Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
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Kapitel 2<br />
Presse<br />
Druckplatte<br />
Laminierwerkzeug<br />
Laminat<br />
Aufnahmestift<br />
Druckplatte<br />
Presse<br />
Druckgefäß<br />
Wasserbad<br />
Umhüllung<br />
Laminat<br />
Bild 17:<br />
Uniaxiales (links) <strong>und</strong> isostatisches (rechts) Laminieren von Grünfolienstapeln<br />
Bei beiden Laminierverfahren kommt es aufgr<strong>und</strong> des applizierten Drucks <strong>und</strong><br />
daraus resultierender Kriechvorgängen zur Deformation mechanischer Strukturen<br />
(Kantenverr<strong>und</strong>ung, Fliessen in Hohlräume – Bild 18) in den Grünfolien, die nach<br />
dem Laminieren wieder teilweise relaxieren. Darüber hinaus schließt der Laminierdruck<br />
die Verwendung überhängender Geometrien <strong>und</strong> Hinterschnitte weitestgehend<br />
aus, da solche Strukturen während des Laminierens kollabieren würden.<br />
200 µm<br />
Bild 18:<br />
Kantenverr<strong>und</strong>ung <strong>und</strong> –deformation an einer Kavität in LTCC [SIM-00]<br />
Der Geometriedeformation durch den Laminierdruck kann durch geeignete Negativformen<br />
für die Strukturen <strong>und</strong> die Variation der Laminierparameter in Grenzen entgegengewirkt<br />
werden, der Laminierprozess kann sich aber durch niedrigere Laminiertemperaturen,<br />
daraus resultierende schlechtere Verb<strong>und</strong>bildung <strong>und</strong> eventuelle<br />
Probleme bei der Entformbarkeit der Strukturnegative erheblich verkomplizieren. Es<br />
ist festzuhalten, dass der Laminiervorgang bezüglich entstehender geometrischer<br />
Deformationen nicht allgemein charakterisiert werden kann, dessen Einfluss muss<br />
daher empirisch anhand von Versuchsmustern bestimmt <strong>und</strong> optimiert werden.<br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 41
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