Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 3
Die Verringerung der Haltekraft des Greifers auf den gerade notwendigen Betrag zur
Kompensation der Gewichtskraft der Linse (0.3 mN) führt während des Anlegens dazu,
dass die Linse im Moment des Anlegens an den Anschlag im Greifer nachgeben
kann. Der Greifer selbst wird durch das Positioniersystem um einen bestimmten Betrag
über den Sollwert in Z hinaus positioniert, um für alle möglichen axialen Abweichungen
der Anschläge ein sicheres Anlegen des Bauelements zu gewährleisten.
Im zweiten Schritt wird dann die Greifkraft abgeschaltet und die Linse fällt aufgrund
der Gewichtskraft auf die lateralen Anschlagkanten.
Greifer mit
Schnittstelle
Linse
Y
Z
X
Beobachtungsrichtung
Kamera
Substrat
(geschnitten)
Bild 48:
Prinzipschema zur Bestimmung der Genauigkeit beim Positionieren gegen einen
axialen Anschlag
Das Verfahren zur Überprüfung der axialen Genauigkeit dieser Art der Positionierung
ist in Bild 48 dargestellt. Durch die Kavität eines LTCC-Substrat hindurch wird mittels
einer Kamera mit Mikroskopobjektiv die Z-Position der vom Greifer in die Fassungsstruktur
eingesetzten Linse beobachtet und über eine bildverarbeitungsgestützte
Kantenantastung vermessen. Diese erreicht in Verbindung mit ca. 1 µm Pixelauflösung
der Beobachtungsoptik eine Genauigkeit im Subpixelbereich. Das Ergebnis eines
Zyklus von 50 Positioniervorgängen zeigen Bild 49 und Tabelle 15.
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