Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
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Kapitel 3<br />
Abw eichung<br />
Sollposition Z / µm<br />
10<br />
500 µm<br />
Z<br />
5<br />
0<br />
1 50<br />
-5<br />
-10<br />
3σ : 10.2 µm<br />
Messung Nr.<br />
Z<br />
Bild 49:<br />
Genauigkeit der Positionierung einer R<strong>und</strong>optik gegen einen axialen Anschlag<br />
Dieses Resultat bestätigt in seiner Größenordnung auch die Ergebnisse anderer<br />
Untersuchungen [SCH-01], wonach beim Positionieren gegen mechanische Anschläge<br />
Genauigkeiten von ±10 µm erreichbar sind, wobei allerdings die Genauigkeit<br />
der Anschläge zusätzlich beachtet werden muss.<br />
Tabelle 15: Ergebnisse der Positionierung einer R<strong>und</strong>optik gegen einen axialen Anschlag, auf<br />
Mittelwert Null normiert<br />
Kollimationslinse<br />
Anzahl der Messungen 50<br />
Mittelwert (normiert) 0 µm<br />
3σ 10.2 µm<br />
Minimum -6 µm<br />
Maximum 8 µm<br />
b) Justieren mit Hilfe der optischen Funktion<br />
Werden hohe Anforderungen an die Genauigkeit der Position eines Bauelements<br />
innerhalb einer Baugruppe gestellt (bei optischen Systemen im Bereich < 10 µm bis<br />
20 µm), sind Justierprozesse in der Regel nicht zu vermeiden. Bei der Montage der<br />
Strahlkollimationsoptik wird, nachdem die Kollimationslinse als Bezugselement auf<br />
der keramischen Systemplattform montiert ist, zunächst die Laserdiode axial <strong>und</strong><br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 79
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