Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
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Kapitel 2<br />
Tabelle 9:<br />
Fassungsstrukturen für die Strahlkollimationsbaugruppe im Al 2 O 3 -Substrat<br />
Laserdiode Kollimations-, Fokuslinse Zylinderlinsenarrays<br />
Mech. Anschlag 1 - Auflagekanten Auflageebene<br />
Y<br />
X<br />
Anschlagebenen<br />
Z<br />
Ausführung<br />
Kavität<br />
Bezugsebene<br />
Auflagekanten<br />
AgPd<br />
Geometrische<br />
Parameter<br />
gesperrte<br />
translatorische<br />
Freiheitsgrade<br />
strukturiert in<br />
Folienlage Nr.<br />
Kavität<br />
Auflagewinkel 41.81 °,<br />
Kantenabstand 2.236 mm<br />
15 µm AgPd, zwei<br />
Streifen mit Dünnschicht<br />
Au (bondfähig)<br />
- X, Y Y<br />
1 1 (Referenzebene) 1 (Referenzebene)<br />
Strukturierung Laserschneiden Laserschneiden Dickschicht<br />
Lagetoleranz des<br />
Bauelements<br />
(theoretisch)<br />
Mech. Anschlag 2<br />
Ausführung,<br />
geometrische<br />
Parameter<br />
gesperrte<br />
translatorische<br />
Freiheitsgrade<br />
-<br />
Kollim.linse: ∆ Y = -76 µm<br />
(δ R = -50 µm)<br />
Fokuslinse: ∆ Y = ±22 µm<br />
(δ R =±15 µm)<br />
∆ Y = ±6 µm (δ A = ±10 µm Genauigkeit<br />
Laserschneiden)<br />
Anschlagebenen<br />
Z-Abstand der <strong>Ebene</strong>n 2.65 mm<br />
Z<br />
∆ Y = ±5 µm<br />
strukturiert in<br />
Folienlage Nr.<br />
Strukturierung<br />
Lagetoleranz des<br />
Bauelements<br />
(theoretisch)<br />
1<br />
Laserschneiden<br />
∆ Z = ±10 µm (Genauigkeit<br />
Laserschneiden)<br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 63
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