Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 3
Saugstrukturen
Laserdiode
Bild 44:
Endeffektorschnittstelle
nach DIN 32565
Elektronik
Laserdiode
Zweifinger-
Parallelgreifer
Links: Vakuumgreifer für rund- und planoptische Bauelemente, Rechts: Zangengreifer
mit Kontakten für Laserdioden im TO-18-Gehäuse
3.3 Positionier- und Justiertechnologien
Zentrales Element einer Montageumgebung ist das verwendete Positioniersystem.
Beim Aufbau der Strahlkollimationsoptik kommt dafür ein „Scara“-Roboter RP1-AH
[MIT-02] zum Einsatz (Bild 45). Dieses Positioniersystem verfügt über einen Arbeitsraum
von ca. 210 mm x 140 mm x 30 mm, in dem es mit einer Wiederholgenauigkeit
von ±5 µm in X und Z, ±10 µm in Y (Schrittauflösung jeweils 1 µm) sowie ±350 µrad
in rotZ (Schrittauflösung 20 µrad) positioniert. Zur Vervollständigung der sechs
Freiheitsgrade, die allerdings für die Montage der Strahlkollimationsoptik nicht unbedingt
benötigt werden, ist am Werkzeugkopf des Positioniersystems ein piezoelektrisch
angetriebenerer Kipptisch befestigt (Bild 45, vergrößerter Ausschnitt), der
in einem Bereich von ±2.5 mrad in rotX und rotY mit einer Auflösung von 0.5 µrad
positioniert. An diesem Kipptisch befindet sich die Schnittstelle nach DIN 32565 zur
Aufnahme der verschiedenen, für die einzelnen Montageschritte notwendigen
Greifer. Ein weiteres Positioniersystem, der Knickarmroboter RV-4A [MIT-04], wird im
Rahmen der Montage zur flexiblen Manipulation der Fügewerkzeuge (Kapitel 3.4)
eingesetzt, die durch den Roboter mit einer Wiederholgenauigkeit von ±30 µm im
Montageraum positioniert werden können.
Während der Montage wird das Profil des Ausgangsstrahls der Strahlkollimationsbaugruppe
als Messsignal für die Justierung von einer CCD-Kamera (Pixelauflösung
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