Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 2
Für die Fertigung der LTCC-Substrate werden folgende Randbedingungen definiert:
• Basismaterial ist das Grünfoliensystem DuPont DP 951, Nutzengröße 6x6 “,
Foliendicke 200 µm.
• Die Vereinzelung des Nutzens erfolgt nach dem Sintern durch Sägen.
• Strukturierungsverfahren für die LTCC-Grünfolien sind Stanzen und Siebdruck.
• Das Stapeln der Grünfolien erfolgt mit mechanischen Aufnahmen ohne optische
Kontrolle.
• Der Grünfolienstapel wird uniaxial laminiert.
Die Fertigung der Al 2 O 3 -Substrate wird unter folgenden Randbedingungen
durchgeführt:
• Basismaterial ist 96 %iges Al 2 O 3 in Plattenform, Nutzengröße 4x4 “ mit einer Plattendicke
von 0.635 mm.
• Die Vereinzelung des Nutzens erfolgt durch Anritzen mit dem Laser während der
Strukturierung und anschließendes Brechen.
• Strukturierungsverfahren sind Laserschneiden und Siebdruck.
2.4.2 Substratcharakterisierung und Bauelementevermessung
Entsprechend den Vorgaben aus Tabelle 8 und 9 in Lohnfertigung hergestellte und
SMD-bestückte LTCC- und Al 2 O 3 -Substrate sind in Bild 36 dargestellt.
Bild 36:
LTCC- (links) und Al 2 O 3 - (rechts) Substrat für die Strahlkollimationsbaugruppe
Die Substratcharakterisierung erfolgt durch eine visuelle Einschätzung des Substrat-
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