Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 3
6.7 µm) aufgenommen, die in einer Entfernung von ca. 1500 mm (Fernfeld) und
80 mm angeordnet werden kann. Magazine für die Greifer und die einzelnen Bauelemente
sowie ein Montagetisch mit Referenzkanten zur definierten Aufnahme der
keramischen Systemplattformen vervollständigen die Montageumgebung.
Y
Piezo-Kipptisch
Z
Greifer
Bauelemente - Magazin
Montagetisch
Knickarmroboter mit
Fügewerkzeugen (hier:
Lötlaser)
Positioniersystem
Greifer - Magazin
Bild 45:
Montageumgebung für die Strahlkollimationsoptik
Das Ergebnis der Überprüfung der translatorischen Wiederholgenauigkeit des
„Scara“-Roboters RP-1AH ist in Bild 46 dargestellt. Für diese Messung wird ein
Präzisionsschalter mit einer Schaltgenauigkeit von ±1 µm [BAU-04] jeweils in X, Y
und Z wiederholt angefahren und die Position im Schaltpunkt ermittelt. Die
Platzierung des Präzisionsschalters erfolgt prinzipiell beliebig im Arbeitsraum, im
vorliegenden Fall aber in etwa an der Stelle, an der der Roboter während der
Montage die Bauelemente positioniert. Die in 50 Messzyklen tatsächlich ermittelte
Wiederholgenauigkeit des Positioniersystems RP-1AH beträgt bei 3σ ±8.7 µm in X,
±4.8 µm in Z sowie ±15.3 µm in Y und entspricht damit in etwa den Spezifikationen
des Herstellers. In Verbindung mit dem kleinsten Schritt von 1 µm kann das System
daher für die folgenden Positionier- und Justieraufgaben eingesetzt werden:
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum Aufbau hybrid-optischer Systeme 76