Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Kapitel 2
abweichung in X- und Z-Richtung mit Hilfe von Glasmaßstäben zu ±0.5 Pixel bestimmt.
Im Gegensatz dazu beruht die Antastunsicherheit für das Messobjekts, die
beim Positionieren des Fadenkreuzes im Messbild entsteht, vorwiegend auf Geradheitsabweichungen
der anzutastenden Kanten und beträgt bis zu ±3 Pixel (Bild 41).
Tabelle 11: Charakterisierung der Fassungsstrukturen
LTCC Al 2 O 3
Wert
Min. Mittelwert Max. 3σ
Probenzahl
Probenzahl
Wert
Min. Mittelwert Max. 3σ
δ A Auflagekanten
Kollimationslinse
6 -85 µm -45 µm -30 µm 60 µm 10 24 µm 31 µm 38 µm 21 µm
δ A Auflagekanten
Fokuslinse
6 -157 µm -102 µm -80 µm 90 µm 10 8 µm 23 µm 31 µm 18 µm
δ A Anschlagebenen
Linsen
6 -21 µm -7 µm 6 µm 30 µm 10 -8 µm 4 µm 16 µm 27 µm
Das Ergebnis der Messungen mit dem Videomikroskop ist in Bild 42 dargestellt und
in Tabelle 11 zusammengefasst. Die LTCC-Substrate zeigen neben der deutlichen
Abweichung der Auflagekantenabstände vom Sollwert vor allem eine starke Schwankung
der einzelnen Messwerte, die sich (unter Beachtung des Unsicherheitsfaktors
der geringen Probenzahl) in der Standardabweichung ausdrückt und wesentlich
schlechter ist als die Prognose der konstruktiven Auslegung (Tabelle 8). Die Al 2 O 3 -
Substrate bestätigen die Genauigkeit des Strukturierungsverfahrens Laserschneiden,
die Schwankungen um den Mittelwert der Abweichung vom Sollmaß bewegen sich
im oberen Bereich der aus der Literatur bekannten Werte.
d) Bestimmung der Linsenabmessungen
Da die Linsen am Außendurchmesser gefasst werden, ist die Bestimmung der
Radiustoleranz δ R notwendig (Tabelle 12), die jedoch keine Aussage über die Lage
der optischen Achse in Bezug auf den Außendurchmesser liefert. Der Linsendurchmesser
wird über eine taktile Antastung der Umfangsfläche mit einer hochauflösenden
(1 µm) induktiven Bügelmessschraube ermittelt.
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