Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
Kapitel 2<br />
Tabelle 8: Fassungsstrukturen für die Strahlkollimationsbaugruppe im LTCC-Substrat<br />
Laserdiode Kollimations-, Fokuslinse Zylinderlinsenarrays<br />
Mech. Anschlag 1 - Auflagekanten Auflageebene<br />
Y<br />
X<br />
Anschlagebenen<br />
Z<br />
Ausführung<br />
Kavität<br />
Bezugsebene<br />
Auflagekanten<br />
AgPd<br />
Geometrische<br />
Parameter<br />
gesperrte<br />
translatorische<br />
Freiheitsgrade<br />
strukturiert in<br />
Folienlage Nr.<br />
Kavität<br />
Auflagewinkel 41.81°, Kantenabstand<br />
2.236 mm<br />
15 µm AgPd, zwei<br />
Streifen<br />
- X, Y Y<br />
1 - 11 7 (Referenzebene) 7 (Referenzebene)<br />
Strukturierung Stanzen Stanzen Dickschicht<br />
Positionsabweichung<br />
des Bauelements am<br />
mechanischen Anschlag<br />
(theoretisch)<br />
Mech. Anschlag 2<br />
Ausführung,<br />
geometrische<br />
Parameter<br />
gesperrte<br />
translatorische<br />
Freiheitsgrade<br />
strukturiert in<br />
Folienlage Nr.<br />
Strukturierung<br />
Lagetoleranz des<br />
Bauelements<br />
(theoretisch)<br />
-<br />
Kollim.linse: ∆ Y = -76 µm (δ R = -50 µm)<br />
Fokuslinse: ∆ Y = ±22 µm (δ R =±15 µm)<br />
∆ Y = -35 µm (R K = 50 µm)<br />
∆ Y = ±11 µm (δ A = ±20 µm Stanzgenauigkeit<br />
<strong>und</strong> Sinterschrumpf)<br />
Anschlagebenen<br />
Z-Abstand der <strong>Ebene</strong>n 2.65 mm<br />
Z<br />
8-11<br />
Stanzen<br />
∆ Z = ±10 µm (Stanzgenauigkeit)<br />
∆ Z = ±8 µm (Sinterschrumpf)<br />
∆ Y = ±5 µm<br />
<strong>Ebene</strong> <strong>Keramiksubstrate</strong> <strong>und</strong> <strong>neue</strong> <strong>Montagetechnologien</strong> <strong>zum</strong> Aufbau hybrid-optischer Systeme 62
Change language