Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum ...

Inhaltsverzeichnis
1. Einführung ...................................................................................................... 9
1.1 Grundlegende Begriffe........................................................................... 9
1.2 Zielstellung der Arbeit .......................................................................... 15
1.3 Applikationsbeispiel „Strahlkollimationsoptik“ ...................................... 17
1.4 Stand der Technik................................................................................ 21
2. Ebene Keramiksubstrate als Plattform für hybrid-optische Systeme...... 31
2.1 Unmittelbare Fassungsstrukturen in ebenen Substraten ..................... 32
2.2 Strukturierung ebener Keramiksubstrate ............................................. 34
2.2.1 Al 2 O 3 und LTCC als Materialbasis............................................ 34
2.2.2 Herstellung ebener Keramiksubstrate ....................................... 37
2.2.3 Verfahren zur Strukturierung ..................................................... 39
2.2.4 Thermomechanische Auslegung............................................... 46
2.3 Varianten von unmittelbaren Fassungen und Referenzstrukturen ....... 48
2.3.1 Fassungsstrukturen mit mechanischen Anschlägen ................. 48
2.3.2 Sonstige Fassungsgeometrien und Referenzstrukturen............ 57
2.3.3 Zusammenfassung der theoretischen Überlegungen................ 59
2.4 Aufbaubeispiel Strahlkollimationsoptik................................................. 60
2.4.1 Konstruktive Auslegung der Systemplattform............................ 60
2.4.2 Substratcharakterisierung und Bauelementevermessung ......... 64
3. Montage hybrid-optischer Systeme auf ebenen Keramiksubstraten....... 71
3.1 Besonderheiten bei der Montage optischer Bauelemente ................... 72
3.2 Handhabung optoelektronischer Bauelemente .................................... 73
3.3 Positionier- und Justiertechnologien .................................................... 75
3.4 Fügetechnologien ................................................................................ 82
4. Diskussion der Ergebnisse ......................................................................... 89
5. Zusammenfassung und Ausblick ............................................................... 93
6. Literatur......................................................................................................... 97
Ebene Keramiksubstrate und neue Montagetechnologien zum Aufbau hybrid-optischer Systeme 4