4. Halbleiterdetektoren - HEPHY
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<strong>4.</strong>2 Silizium-StreifendetektorenEinführung — 1★ Die Möglichkeit der Mikrostrukturierung von Halbleitern und dasinsbesondere für Silizium von der Mikrochip-Fertigungsindustrieübernommene Know-how führten ab ca. 1980 zu einem regelrechtenBoom in der Verwendung von <strong>Halbleiterdetektoren</strong> zur Positionsbestimmungvon ionisierenden Teilchen.★ Silizium als Detektormaterial bietet die Verwendungsmöglichkeitwohlbekannter, industrieller Fertigungsprozesse (Planarprozesse).★ Insbesondere in der Hochenergiephysik sind ortsauflösende Silizium-Detektoren nahzu unentbehrlich geworden. Beim Bau von sogenanntenVertexdetektoren, das sind Detektoren zur präzisen Vermessung desGeschehens in unmittelbarer Nähe des ursprünglichen Wechselwirkungspunkteseiner Teilchenkollision in einem Beschleuniger, sind Si-Detektoren derzeit wohl der am häufigsten eingesetzte Detektortyp.M. Krammer: Detektoren, SS 09 <strong>Halbleiterdetektoren</strong> 60
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