4. Halbleiterdetektoren - HEPHY

4.2.4Doppelseitige StreifendetektorenDetektoren mit 2 Metallagen – 2★ Für einen doppelseitigen Detektor mit zwei Metallagen (“double sided doublemetal layer detector”) wird nach der “normalen” Metallisierung der Auslese-streifen eine isolierende Schicht (meist SiO 2 oder Polyimid) auf die n + -Seitedes Detektors aufgebracht.★ Darüber kommt in einem weiteren Fertigungsschritt eine 2. Metallage mitStreifen orthogonal zu den n + -Streifen.★ Die Kontakte zw. der zweiten Metallage und der Metallisierung der Auslese-streifen erfolgen durch Fenster in der Isolationsschicht.★ Erzielte Ortsauflösung mit einem Double Sided Double Metal Layer Detektor(DELPHI Microvertex Gruppe): p + -Seite: σ = 6 µm, n + -Seite: σ = 8 µm.★ Nachteil: Aufwendig, einige zusätzliche Produktionsschritte bei der Detektor-fertigung (➔ teurer).★ Alternative zu Detektoren mit eingebauter 2. Metallage: Kapton-Folien mitaufgedruckten Leiterbahnen, welche auf die Metallisierung der n + -Seiteaufgeklebt werden. Nachteil dieser Technik: Montage schwieriger, Problemebeim Bonden auf Folie, mehr Material.M. Krammer: Detektoren, SS 09 Halbleiterdetektoren 91