In - bei Duepublico - an der Universität Duisburg-Essen

Theoretische Grundlagen
weisen dadurch eine hohe Tiefenschärfe auf. Um eine elektrische Aufladung
nichtleitender Proben zu vermeiden, werden diese auf Siliziumwafer oder
Kohleleitpads aufgebracht und zusätzlich mit dünnen Filmen aus
Gold/Palladium bedampft.
Die in dieser Arbeit gezeigten REM-Aufnahmen wurden mit einem FEI Quanta
FEG 400 angefertigt.
2.4.3 Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und EELS
Die Transmissionselektronenmikroskopie ist eine Methode, bei der die Probe
mit Hilfe eines Elektronenstrahls zur Strukturabbildung durchstrahlt wird. Die
Elektronen werden hierbei thermisch emittiert und dann über eine angelegte
Spannung beschleunigt. Der Elektronenstrahl wird von einem speziellen
Linsensystem so auf die Probe abgelenkt, dass diese gleichmäßig ausgeleuchtet
wird. Für die Abbildung der Probe sind verschiedene Wechselwirkungen
zwischen Probe und Elektronen verantwortlich. Bei der Transmission können
die Elektronen ungehindert passieren. Durch die elastische und die inelastische
Streuung werden die Elektronen in der Probe gestreut. Mit einer speziellen
Kontrastblende werden die gebeugten und die ungebeugten Elektronen getrennt.
Da dickere Probenteile und Atome mit höherer Ordnungszahl stärker streuen,
entsteht ein Bild mit verschiedenen Kontrasten. Durch ein Objektiv-
Linsensystem wird ein sogenanntes Zwischenbild stark vergrößert auf einem
Detektor abgebildet.
Bei der Elektronenenergieverlustspektroskopie (Electron Energy Loss
Spectroscopy, EELS) wird ein monoenergetischer Elektronenstrahl an der
Probenoberfläche reflektiert und die Energieverluste detektiert. Die
eingestrahlten Primärelektronen können mit den geladenen Teilchen der Probe
wechselwirken. Dabei kommt es zum Energieverlust der inelastisch gestreuten
26