- Seite 1 und 2:
Projektbereich D Werkzeuge Arbeitsb
- Seite 3 und 4:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 5 und 6:
1 Einführung in den Projektbereich
- Seite 7 und 8:
2 Teilprojekt D1 - Multifunktionale
- Seite 9 und 10:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
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Projektbereich D Lugscheider, Erich
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Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 15 und 16:
2.3 Durchführung und Ergebnisse Pr
- Seite 17 und 18:
Abscheideparameter Pulsparameter Pr
- Seite 19 und 20:
1-11-04-03: Projektbereich D Lugsch
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Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 23 und 24:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 25 und 26:
a) b) Bild D-11a,b: Kalottenschliff
- Seite 27 und 28:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 29 und 30:
Kurzz. O2 [sccm] Heizung [°C] Dick
- Seite 31 und 32:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 33 und 34:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 35 und 36:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 37 und 38:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 39 und 40:
Bild D-21: Phasendiagramm von ZrO2-
- Seite 41 und 42:
Zahl der Thermozyklenas 1600 1400 1
- Seite 43 und 44:
2.3.2 Aktivlöten Projektbereich D
- Seite 45 und 46:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 47 und 48:
4,00E-05 2,00E-05 0,00E+00 -2,00E-0
- Seite 49 und 50:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 51 und 52:
2.3.3.3 Thermoschockuntersuchungen
- Seite 53 und 54:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 55 und 56: µm 30 10 -10 -30 31,3mm; 200P/mm 1
- Seite 57 und 58: 2.4 Zusammenfassung und offene Frag
- Seite 59 und 60: Grain 67/ Grain C. F. Phaserelation
- Seite 61 und 62: 2.6 Veröffentlichungen A Reviewed
- Seite 63 und 64: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 65 und 66: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 67 und 68: 3 Teilprojekt D2 - Keramische Funkt
- Seite 69 und 70: Thermoschockversuche Projektbereich
- Seite 71 und 72: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 73 und 74: Temperaturdifferenz [K] 180 170 160
- Seite 75 und 76: Prozessanalyse & vollkeramisches We
- Seite 77 und 78: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 79 und 80: 3.3.2 Siliziumnitrid Thermoschockbe
- Seite 81 und 82: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 83 und 84: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 85 und 86: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 87 und 88: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 89 und 90: 3.5 Schrifttum /Dorey 02/ Dorey, R.
- Seite 91 und 92: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 93 und 94: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 95 und 96: Bild D-60: Schema der PECVD-Anlage
- Seite 97 und 98: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 99 und 100: Kathodenleistungsdichte (W/cm 2 ) 8
- Seite 101 und 102: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 103 und 104: Reibungskoeffizient 0.9 0.6 0.3 Rei
- Seite 105: Projektbereich D Lugscheider, Erich
- Seite 109 und 110: 80 115 Bild D-77: Al2O3-beschichtet
- Seite 111 und 112: 4.5 Schrifttum /Kyrylov 02/ O. Kyry