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Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289

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<strong>Projektbereich</strong> D<br />

<strong>Lugscheider</strong>, <strong>Erich</strong><br />

390<br />

zeigten sich bei den Werkstoffverbunden unterscheidbare Degenerationserscheinungen.<br />

Als offene Fragen für den dritten Berichtszeitraum wurden daher formuliert:<br />

Übertragung auf praxisrelevante Geometrien<br />

Weiterentwicklung von Beschichtungstechniken<br />

Modellversuche (Hochtemperaturtribometer (HTT), Thermoschock, Korrosion)<br />

2.2 Angewandte Methoden und Anlagen<br />

In den nachfolgenden Kapiteln werden die im Teilprojekt D1 angewandten Beschichtungs-<br />

und Fügeverfahren, sowie die Prüfmethoden vorgestellt.<br />

2.2.1 Oberflächentechnik/Fügetechnik<br />

In den drei nachfolgenden Unterpunkten wird eine Übersicht über die verwendeten<br />

Beschichtungstechniken gegeben.<br />

2.2.1.1 PVD - Pulstechnologie<br />

Aufgrund der hohen auftretenden Temperaturen ist der Einsatz thermodynamisch stabiler<br />

und hochtemperaturtauglicher Werkstoffsysteme notwendig. Durch den Einsatz geeigneter<br />

Prozesstechniken können wirtschaftlich nutzbare Werkzeuge (Werkstoffverbunde)<br />

hergestellt werden. Die PVD-Prozesstechnik ist in der Lage Werkstoffverbunde herzustellen,<br />

die den Anforderungen, die an Thixoformingwerkzeuge gestellt werden,<br />

entsprechen.<br />

Nachdem im vorigen Antragszeitraum im Bereich der Aluminiumformgebung die<br />

Beschichtungen hauptsächlich mit metallischen Hartstoffschichten unternommen wurden,<br />

wurden nun oxidkeramische Schichtarchitekturen erforscht. Hier wurde auf die vielversprechenden<br />

Materialien Al2O3 und teilstabilisiertes ZrO2 /Hannink 98, Wong 96/ zurückgegriffen.<br />

Hierbei wurden oxidkeramische Werkstoffe von metallischen Targets in einem<br />

reaktiven Sputterprozess kristallin abgeschieden. Zur Herstellung dieser oxidkeramischen<br />

Schichtverbunde wurde das Magnetron-Sputtern-Ion-Plating (MSIP) unter Einsatz der<br />

Pulstechnik verwendet, das durch seine extreme Flexibilität der Werkstoffauswahl<br />

bezüglich der Schichtzusammensetzung Vorteile bietet. Im Hochvakuum können so hochschmelzende<br />

Materialien in die Gasphase überführt und als Schichtsysteme appliziert<br />

werden. Die Pulstechnologie eröffnet hier neue Perspektiven. Bei normalen metallischen<br />

Sputterprozessen kondensieren die herausgeschlagenen Targetatome (Metallionen) auf<br />

dem Substrat und bilden dadurch die Schicht. Allerdings scheidet sich auch ein Teil der<br />

Metallionen wieder auf dem Target ab. Da bei reaktiven Prozessen die abgeschiedene<br />

Schicht eine chemische Verbindung ist, kann durch die Rückabscheidung die Schichtrate<br />

negativ beeinflusst werden. Wenn die abgeschiedene Schicht, wie in diesem oxidischen

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