Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289
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<strong>Projektbereich</strong> D<br />
<strong>Lugscheider</strong>, <strong>Erich</strong><br />
409<br />
Die genaue Phasenzusammensetzung der kristallinen Schichten konnte mittels Röntgendiffraktometrie<br />
ermittelt werden, wohin gegen sich amorphe Schichten röntgenamorph<br />
verhalten.<br />
a) amorph b) kristallin<br />
Bild D-14a,b: REM Aufnahme einer amorphen und einer kristallinen Al2O3-<br />
Schicht<br />
Daher ist für die Schichtentwicklung die wichtigste Untersuchung die Röntgendiffraktometrie,<br />
da mit der Röntgendiffraktometrie die Kristallstruktur und die Schichtzusammensetzung<br />
der kristallinen Schichten überprüft werden können. Das Ziel der<br />
Schichtentwicklung war die Stabilisierung der -Phase von Al2O3. Die einzelnen Phasen<br />
von Al2O3 können durch die Reflexe im Messschrieb des Röntgendiffraktometers<br />
unterschieden werden. Für die abgeschiedenen Schichten konnten deutliche Reflexe der<br />
Gitterebenen (311) und (440), die dem -Al2O3 zugeordnet werden, nachgewiesen werden<br />
(Bild D-15). Somit wurde das Ziel eine kristalline -Al2O3 Phase bei Temperaturen um<br />
500°C abzuscheiden erreicht. In Tabelle D-3 ist eine Übersicht über das untersuchte<br />
Parameterfeld, sowie die Untersuchungsergebnisse dargestellt.<br />
cps a.u.<br />
1000<br />
1000<br />
Bild D-15: Messschrieb einer Röntgendiffraktometermessung von –Al2O3
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