Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289

Projektbereich D
Lugscheider, Erich
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Test ebenfalls Eigenschaften des tetragonalen Zirkoniumdioxids bestätigen, handelt es sich
mit hoher Wahrscheinlichkeit um tetragonales Zirkoniumdioxid. Festzustellen ist, dass
eine hochtemperaturstabile Phase abgeschieden worden ist. In den nachfolgenden
Ergebnissen konnte nachgewiesen werden, dass diese Phase keine polymorphen
Umwandlung bei erhöhten Einsatztemperaturen aufweist. Durch den Pulseinsatz beim
Magnetron Sputtern konnte sowohl die Schichtrate erhöht und damit dickere Schichten
abgeschieden werden, als auch die Kristallinität und damit die chemische Beständigkeit
verbessert werden. In Tabelle D-2 ist eine Übersicht über die durchgeführten
Beschichtungen und die Untersuchungsergebnisse dargestellt.
Schichtbezeichnung O2-
Anteil
O2-
Fluß
[sccm]
Prozessdruck
Zeit
[min]
Substrattemperatur
2-08-04-03 5% 3,99 1 Pa 90 150 °C
Krit.
Last
[N]
Härte
[GPa]
1-08-04-03 5 3,96 1 Pa 90 350 °C 30N 14 270
1-09-04-03 5% 3,94 1 Pa 90 560 °C
1-11-04-03 2% 1,76 1 Pa 90 350 °C 30
N
1-14-04-03 3% 2,49 1 Pa 90 350 °C
E-
Modul
[GPa]
14 240
1-15-04-03 4% 3,31 1 Pa 90 350 °C 60N 16 270
3-24-06-03 5,50% 4,5 1 Pa 90 350 °C 40N 18 310
2-14-04-03 6,50% 5,24 1 Pa 90 350 °C 30N 17 240
2-09-04-03 7,50% 5,78 1 Pa 90 350 °C 30N
2-24-06-03 4% 1,67 0,5 Pa 90 350 °C 30
N
19 270
2-16-04-03 5% 2,07 0,5 Pa 90 350 °C 40N 15 270
1-24-04-03 5,20% 2,16 0,5 Pa 90 350 °C 20N 13 250
2-23-04-03 5,60% 2,34 0,5 Pa 90 350 °C 20N 16 280
2-22-04-03 6,50% 2,69 0,5 Pa 90 350 °C 0N 15 260
2-25-04-03 7,50% 3,03 0,5 Pa 90 350 °C 20N 16 300
1-22-04-03 8% 3,25 0,5 Pa 90 350 °C 30N 17 300
1-25-04-03 10% 3,95 0,5 Pa 90 150 °C 0 N 16 270
1-28-05-03 5% 1,2 0,3 Pa 90 350 °C 30 13 240