Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289
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<strong>Projektbereich</strong> D<br />
<strong>Lugscheider</strong>, <strong>Erich</strong><br />
406<br />
Anzeichen von Ausbrüchen aufweist. Hier ist die Haftung zwischen Schicht und<br />
Haftvermittler unzureichend. Die Anbindung des Haftvermittlers an das Substrat ist gut.<br />
Besser sind im Bild D-11b die einzelnen, scharfkantigen Übergänge zwischen<br />
Substrat/Haftvermittler und Haftvermittler/Schicht zu erkennen. Es sind keine Ausbrüche<br />
an den einzelnen Schichtübergängen zu erkennen. Dies lässt auf eine gute Haftfestigkeit<br />
des gesamten Schichtsystems schließen.<br />
Schichtdicke d [µm]<br />
20<br />
15<br />
10<br />
5<br />
0<br />
1Pa, RT<br />
1Pa, ~500°C<br />
0,5Pa; ~500°C<br />
1,3Pa; ~500°C<br />
0 5 10 15<br />
Fluss O2 [sccm]<br />
Bild D-9: Einfluss des Sauerstoffflusses auf die Al2O3 Schichtdicke<br />
Schichtdicke d [µm]<br />
10<br />
8<br />
6<br />
4<br />
2<br />
0<br />
0,2 0,4 0,6 0,8 1 1,2 1,4<br />
Druck p [Pa]<br />
Bild D-10: Einfluss des Drucks auf die Al2O3 Schichtdicke, konstanter O2-Fluss (4sccm)
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