Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289
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1-11-04-03:<br />
<strong>Projektbereich</strong> D<br />
<strong>Lugscheider</strong>, <strong>Erich</strong><br />
401<br />
1Pa; 1,76 sccm O2 (2%);<br />
350°C<br />
1-23-06-03:<br />
0,3Pa; 1,7 sccm O2 (7%);<br />
350°C<br />
2-16-04-03:<br />
Bild D-7: Röntgenographische Untersuchung der mit ZrO2 beschichteten Probe nach<br />
der Grazing-Incidence Methode<br />
Die Sauerstoffabhängigkeit der Phasenausbildung konnte auch mit einer GDOES-Analyse<br />
nachgewiesen werden. In dem durch die GDOS ermittelten Tiefenprofil wurde der Aufbau<br />
des Schichtsystems sichtbar. An das Substrat, mit nahezu 100% Eisen, schließt sich der<br />
Haftvermittler Wolfram an (Bild D-8). Anschließend folgt ein Bereich, in dem die Zirkon-<br />
und Sauerstoffanteile sehr schnell ansteigen. Dieser Bereich stellt die Zirkoniumdioxidschicht<br />
dar.
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