Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289

Empfehlungen

Info

Projektbereich D Lugscheider, Erich 476 Entladungspannung, und die Verhältnisse in der Gasmischung auf die kristallografische Struktur, die Morphologie und die mechanischen Eigenschaften der Schichten untersucht. Die Proben werden auf dem Probenhalter platziert, der im Betrieb als eine der beiden Kathoden dient (siehe Bild D-61). Für die Erzeugung des Plasmas wurde der Pulser „SPIK 1000A“ der Firma MELEC eingesetzt, der nach dem bipolaren Schema geschaltet wurde. Der Pulser erlaubt eine maximale Spannung von 1000 V und eine maximale Pulsfrequenz von 50 kHz. Für die vorliegenden Untersuchungen wurde Al2O3 auf den Warmarbeitstählen 1.2343 und 1.2999 und auf der Molybdänlegierung TZM (99%Mo, 0.5%Ti, 0.1%Zr) abgeschieden. Die Auswahl der Werkstoffe für die Proben basiert auf der möglichen Benutzung dieser Materialien als Werkzeuge für die Formgebung von teilflüssigen Aluminiumlegierungen und Stählen /Lugscheider 00/. Unterschiedliche Methoden zur Schichtcharakterisierung wurden eingesetzt, um die Eigenschaften der aufgebrachten Schichten und deren Abhängigkeiten von den Prozessparametern zu bestimmen. Als grundsätzliches Ziel der Untersuchungen wurde die Erarbeitung der Grundlagen für die Anwendung von Al2O3 als Schutzschicht für Thixoformingwerkzeuge verfolgt. Die Untersuchungen der mechanischen Eigenschaften wurden mittels Nanoindenter durchgeführt, um Aussagen über die Mikrohärte und die Elastizität der Schichten zu gewinnen. Das tribologische Verhalten der Schichten wurde mit Hilfe des Tribotests untersucht. Weiterhin wurden die abgeschiedenen Schichten auf ihre Kristallstruktur, chemische Zusammensetzung und Morphologie mittels Röntgenbeugung bei streifendem Einfall (GIXRD), Rastelektronenmikroskop (REM + EDX) und Elektronenstrahlmikrosonde (EPMA) untersucht. Weitere Untersuchungen betrafen die Abscheidung geeigneter Schichtverbunde auf Einsätzen für die Aluminium- und Stahlformgebung. Hierbei wurde in Zusammenarbeit mit den Projektbereichspartnern D1, D2 und E1 ein Werkzeugkonzept für die Stahlformgebung entwickelt und in Zusammenarbeit mit Teilprojekten D1 und D2 realisiert.
Bild D-60: Schema der PECVD-Anlage Bild D-61: Innenansicht der Abscheidekammer der PECVD-Anlage Projektbereich D Lugscheider, Erich 477
Seite 1 und 2:
Projektbereich D Werkzeuge Arbeitsb
Seite 3 und 4:
Projektbereich D Lugscheider, Erich
Seite 5 und 6:
1 Einführung in den Projektbereich
Seite 7 und 8:
2 Teilprojekt D1 - Multifunktionale
Seite 9 und 10:
Seite 11 und 12:
Seite 13 und 14:
Seite 15 und 16:
2.3 Durchführung und Ergebnisse Pr
Seite 17 und 18:
Abscheideparameter Pulsparameter Pr
Seite 19 und 20:
1-11-04-03: Projektbereich D Lugsch
Seite 21 und 22:
Seite 23 und 24:
Seite 25 und 26:
a) b) Bild D-11a,b: Kalottenschliff
Seite 27 und 28:
Seite 29 und 30:
Kurzz. O2 [sccm] Heizung [°C] Dick
Seite 31 und 32:
Seite 33 und 34:
Seite 35 und 36:
Seite 37 und 38:
Seite 39 und 40:
Bild D-21: Phasendiagramm von ZrO2-
Seite 41 und 42:
Zahl der Thermozyklenas 1600 1400 1
Seite 43 und 44: 2.3.2 Aktivlöten Projektbereich D
Seite 45 und 46: Projektbereich D Lugscheider, Erich
Seite 47 und 48: 4,00E-05 2,00E-05 0,00E+00 -2,00E-0
Seite 51 und 52: 2.3.3.3 Thermoschockuntersuchungen
Seite 55 und 56: µm 30 10 -10 -30 31,3mm; 200P/mm 1
Seite 57 und 58: 2.4 Zusammenfassung und offene Frag
Seite 59 und 60: Grain 67/ Grain C. F. Phaserelation
Seite 61 und 62: 2.6 Veröffentlichungen A Reviewed
Seite 67 und 68: 3 Teilprojekt D2 - Keramische Funkt
Seite 69 und 70: Thermoschockversuche Projektbereich
Seite 73 und 74: Temperaturdifferenz [K] 180 170 160
Seite 75 und 76: Prozessanalyse & vollkeramisches We
Seite 79 und 80: 3.3.2 Siliziumnitrid Thermoschockbe
Seite 89 und 90: 3.5 Schrifttum /Dorey 02/ Dorey, R.
Seite 93: Projektbereich D Lugscheider, Erich
Seite 99 und 100: Kathodenleistungsdichte (W/cm 2 ) 8
Seite 103 und 104: Reibungskoeffizient 0.9 0.6 0.3 Rei
Seite 107 und 108: 1 Stahl 1.2999 2 m 2 Stahl 1.2999 P
Seite 109 und 110: 80 115 Bild D-77: Al2O3-beschichtet
Seite 111 und 112: 4.5 Schrifttum /Kyrylov 02/ O. Kyry
Alle anzeigen

Projektbereich D Lugscheider, Erich 383 Projektbereich D ... - SFB 289

Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

Template löschen?

Als Template speichern?