KEM Konstruktion 11.2018

Bild: Renishaw
escha.net
Bei der Flachbildschirmherstellung können
durch die Auswahl einer hochwer -
tigen Positionsfeedbacklösung Gleich -
laufschwankungen minimiert werden
Bei anderen Prozessen in der Flachbildschirmproduktion wie etwa bei der
Substratinspektion sind die Anforderungen an das Messsystem ähnlich
Bild: Renishaw
wichtige Rolle. Viele dieser Elemente sind mehrere Meter lang und
erfordern spezielle, übergroße Messstände, um zuverlässige Daten
zu Durchbiegung, Längskrümmung, Verdrehung und anderen Formfehlern
zu erhalten. Eine entsprechende Laserscanvorrichtung umfasst
beispielsweise einen 2D-Linien-Laserscanner, der auf einem
Drehtisch montiert und mit einem Linearbewegungstisch gekoppelt
ist, während ein Wegmesssystem an der Längsachse zur Positionsbestimmung
und -regelung installiert ist. Der Laserscankopf auf
dem Drehtisch führt eine Korkenzieherbewegung aus, während der
Drehtisch horizontal am gesamten Träger entlangfährt. In diesem
Beispiel wird der Träger aus neun Drehtischwinkeln gescannt und in
jedem Winkel werden 800 Punkte generiert. Diese Daten werden
anschließend zur Entwicklung des hochaufgelösten Werkstückmodells
kombiniert. Das Wegmesssystem liefert dabei sowohl die
Weg- als auch die Winkelpositionskoordinaten des 2D-Scankopfes,
die benötigt werden, um die Trägergeometriedaten aus den Scandaten
zu extrahieren. Die Messgenauigkeit ist daher von der Genauigkeit
des Wegmesssystems über eine meterlange Achse abhängig.
Die Messsysteme der Baureihe Quantic verfügen im Vergleich zu
anderen Messsystemen ihrer Klasse mit ±0,3 mm über eine große
Toleranz im Abtastkopfabstand, sodass besonders zuverlässige und
wiederholgenaue Messungen über längere Achsen möglich sind.
Diese Vorteile lassen sich auch bei herkömmlichen großen KMGs
(Koordinatenmessgeräten) in Gantry-Bauweise nutzen, bei denen
Messsysteme auf drei separaten Achsen mit einer Länge von bis zu
10 m oder mehr installiert sind. ik
www.renishaw.de
Details zur Messsystembaureihe Quantic:
hier.pro/bcXOp
Messe SPS IPC Drives: Halle 4A, Stand 231
Mehr als ein
neues Steckgesicht
Rundsteckverbinder M8x1
4-polig, D-codiert
Designed für hochperformante
Datenübertragung
Zukunftssicherheit für
hochverfügbare Netzwerke
Halle 10.0 | Stand 414
SPS IPC Drives Nürnberg, 27.-29. Nov.
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