Wersja pełna [11,39 MB] - Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i ...

KARTA PRZEDMIOTU
Nazwa przedmiotu Systemy mikroelektromechaniczne
Skrót nazwy MEMS
Kierunek:
Elektronika i telekomunikacja Automatyka i robotyka Informatyka
X
Osoba odpowiedzialna za treść przedmiotu:
Imię: Wiesław
Nazwisko: Kordalski
e-mail: kord@ue.eti.pg.gda.pl
Lp. Zagadnienie
Karta zajęć - wykład
poziom
wiedzy umiej.
liczba
godzin
A B C D E
1. Wprowadzenie. Ewolucja mikroczujników. X 1
2. Powstanie mikro- i nanomechatroniki. X 0,33
3. Materiały w systemach mikroelektromechanicznych. X 1
4. Specyfika mikro- i nanotechnologii. X 1
5. Fizyka i technologia MEMS-ów i NEMS-ów – wstęp. X 0,67
6. Metody nanoszenia cienkich i grubych warstw. X 1
7. Epitaksja. X 1
8. Procesy litograficzne. X 1
9. Trawienie selektywne ‘mokre’. X 1
10. Trawienie plazmowe i jonowe. X 1
11. Metody domieszkowania: dyfuzja i implantacja X 1
12. Mikrostereolitografia w technologii MEMS-ów. X 1
13. Mikromaszyny krzemowe – powierzchniowe. X 1
14. Mikromaszyny krzemowe – objętościowe. X 1
15. Mikropompy i koncentratory.
16. Mikroczujniki temperatury, promieniowania i wielkości
X 1
mechanicznych.
17. Mikroczujniki pola magnetycznego. X 1
18. Akustyczne fale powierzchniowe (SAW). X 1
19. Czujniki SAW. X 1
20. Mikroaktuatory – przykłady realizacji. X 1
21. Mikroskop sił atomowych (AFM). X 1
22. Skaningowy mikroskop tunelowy (STM). X 1
23. Właściwości powierzchni i cienkich warstw w mikro- i nanoskali. X 1
24. Technologia nanodrutów, nanorurek i nanoszczelin. X 1
25. Mikrozawory i ich zastosowanie w BioMEMS-ach. X 1
26. Wykorzystanie technologii MEMS-ów do budowy systemów
gromadzenia danych.
27. Mikroskaner 3-D i jego zastosowania. X 1
28. Zastosowanie MEMS-ów w matrycach mikroluster. X 1
29. MEMS-y w sterowaniu mikrokluczami optycznymi. X 1
30. Przestrajanie pojemności za pomocą MEMSów. X 1
31. Mikroinduktory 3-D realizowane technologią MEMS-ów. X 1
Razem 30
X
X
1
1
656