Research Directory of the Brandenburg University of Applied Sciences

Fachhochschule Brandenburg
Brandenburg University of Applied Sciences
Anwendungsoptimierung der Thermographie für Analysen an Mikrosystemen
Ziel der Anwendungsoptimierung war es, die durch das
verwendete Mikroskopobjektiv gegebene Ortsauflösung
der Thermographie an Mikrosystemen zu erreichen.
Dies erfordert bei einer maximalen optischen
Auflösung von 5 μm pro Kamerapixel und der geringen
Schärfentiefe aufgrund der starken Vergrößerung des
Mikroskopobjektivs eine mechanisch extrem stabile
und starre (nicht schwingende) Kamera-Messprobenanordnung,
eine hochpräzise Probenjustage zum Objektiv
sowohl in xyz-Richtung als auch in den Neigungsrichtungen
des zu analysierenden Objekts. Aus
diesem Grund wurde ein Messaufbau auf einem
schwingungsgedämpften optischen Tisch mit stabilen,
sehr präzise zu justierendes optischen Elementen gewählt.
Durch die Anwendungsoptimierung ist es nun
möglich, Temperaturverteilungen an mikroskopischen
Systemen mit hoher Orts- und Zeitauflösung zu bestimmen.
Dies erweitert die messtechnische Kompetenz
der FH Brandenburg im Bereich angewandter IR-Tech-
Atmosphärische Optik
Im Zusammenhang mit einer internationalen Konferenz
im Jahr 2007 entstanden fruchtbare Kooperationen,
die auch zu gemeinsamen Publikationen führten.
Die Kooperationen führten zum einen zu neuen Laborexperimenten,
zum anderen zu theoretischen Arbeiten
(zu allen Themen, siehe auch Publikationsliste).
Der Erfolg zeigt sich u.a. in der Einladung zu Vorträgen
Projektleitung – Project Management:
Prof. Dr. Klaus-Peter Möllmann
Wiss. Mitarbeiter/innen – Scientific Staff:
Detlef Karstädt
Laufzeit – Term: 04/2009 bis 12/2009
Finanzierung – Financing:
Quelle: BMBF
Projektträgerschaft und Federführung – Sponsorship and
Lead Institution: BMBF
nik in hohem Maße. Diese Erweiterung der analytischen
Möglichkeiten für Mikrosysteme konnte auch
bereits im Rahmen eines anwendungsorientierten FuE-
Projekts für mikromechanisch gefertigte Bolometer
erfolgreich eingesetzt werden konnte. Es gelang damit
die neuartige, direkte Bestimmung von qualitätsbestimmenden
Bauelementeparametern, wie der thermischen
Zeitkonstante und der lateralen Empfindlichkeitsverteilung
aus zeit- und ortsaufgelöster Analyse
der Temperaturverteilung auf der Empfängerfläche.
Projektleitung – Project Management:
Prof. Dr. Michael Vollmer
Partner/Kooperationen – Partner/Cooperations:
Prof. Stanley Gedzelman, New York (USA),
Prof. Elmar Schmidt, Heidelberg
auf der bedeutendsten internationalen Tagung in diesem
Bereich in Bozeman (DFG-geförderte Reise).
94 Forschungsbericht Research Report 2007 – 2010