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Modélisation et simulation numérique de la génération de plasma ...

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2. Physique <strong>de</strong>s décharges électriquesque E rel >| Q |, où E rel est l’énergie cinétique du mouvement re<strong>la</strong>tif <strong>de</strong>s particules. Ceci indiqueque les collisions frontales sont plus efficaces.Considérons <strong>la</strong> réaction : 1+2 → 3. L’évolution <strong>de</strong> <strong>la</strong> <strong>de</strong>nsité N 3 <strong>de</strong> l’espèce 3 est généralementrégie par une équation du type :dN 3dt= kN 1 N 2avec k <strong>la</strong> constante <strong>de</strong> réaction, exprimée en m 3 s −1 . Une formu<strong>la</strong>tion souvent rencontrée dansle domaine <strong>de</strong>s p<strong>la</strong>smas, lorsque l’espèce 2 est majoritaire <strong>et</strong> très lente par rapport à l’espèce 1,est :dN 3dt= αN 1 U 1où U 1 est <strong>la</strong> vitesse <strong>de</strong> l’espèce 1 <strong>et</strong> α un coefficient exprimé en m −1 , comparable à un libreparcours moyen avant <strong>la</strong> collision du type 1 + 2 → 3. Ces coefficients dépen<strong>de</strong>nt <strong>de</strong> <strong>la</strong> fonction<strong>de</strong> distribution en vitesse <strong>de</strong>s particules 1 <strong>et</strong> 2, <strong>de</strong> <strong>la</strong> section efficace <strong>de</strong> collision <strong>et</strong> <strong>de</strong> <strong>la</strong> vitessere<strong>la</strong>tive <strong>de</strong>s espèces 1 <strong>et</strong> 2. Ils sont sensibles également à <strong>la</strong> température du milieu.Après c<strong>et</strong>te <strong>de</strong>scription générale, on va maintenant s’intéresser plus particulièrement auxréactions <strong>de</strong> production <strong>et</strong> <strong>de</strong> <strong>de</strong>struction d’espèces dans un p<strong>la</strong>sma.Production d’électrons à partir d’une surfacePour arracher <strong>de</strong>s électrons à une surface, il est nécessaire d’apporter une énergie eφ suffisanteappelée "fonction <strong>de</strong> travail". Les moyens d’y parvenir sont :– Thermique : si le matériau est porté à une température suffisante, il ém<strong>et</strong> un flux d’électrons.– Photonique : lors du bombar<strong>de</strong>ment <strong>de</strong> <strong>la</strong> surface par <strong>de</strong>s photons d’énergie hν, si hν > eφalors il y a émission <strong>de</strong> photons d’énergie k B T e = hν − eφ.– Champ électrique intense <strong>de</strong> l’ordre <strong>de</strong> 10 8 Vm −1 . C<strong>et</strong>te source d’électrons peut avoir lieusi <strong>la</strong> catho<strong>de</strong> est parsemée d’aspérités sur sa surface. Le champ électrique y est alors trèsintense <strong>et</strong> provoque l’arrachement d’électrons <strong>de</strong> surface.– Bombar<strong>de</strong>ment ionique : lorsque les ions positifs percutent <strong>la</strong> catho<strong>de</strong>, ceux-ci sont capablesd’arracher un certains nombres d’électrons. Le flux d’électrons émis est proportionnel auflux inci<strong>de</strong>nt d’ions. Le rapport <strong>de</strong> ces flux est le coefficient d’émission secondaire parbombar<strong>de</strong>ment ionique <strong>et</strong> noté γ i . C’est une source avérée d’électrons, notamment pour lesdécharges basse pression.Production d’ions sur une surfaceCe phénomène est négligeable.20

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